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英福康INFICON真空计Edge CDG100D2 苏州无锡上海INFICON英福康真空计 湖州嘉兴杭州东莞深圳英福康INFICON真空计 济南青岛烟台英福康

益处

• 设计紧凑，节省宝贵的工具空间
• 易于集成，EtherCAT，各种满刻度和法兰，标配两个设定点
• 轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
• 诊断端口用于快速维修和维护
• 两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
• **的信号稳定性和可重复性，即使是*苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准
• 合规性与标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

• 用于 CVD、刻蚀、PVD 和其他半导体制造过程

  规格

  类型		1000 ... 500 Torr / mbar	200 ... 1 Torr / mbar
  精度 (1)	% of reading	0.15	0.15
  温度效应
  零点	percent FS/°C	0.0025	0.0025
  满量程	% of reading / °C	0.02	0.02
  压力，*大	kPa (absolute)	400	260
  分辨率	percent FS	0.003	0.003
  *低读数	percent FS	0.01	0.01
  建议的*低读数	percent FS	0.05	0.05
  建议的*低控制压力	percent FS	0.5	0.5
  温度
  传感器	°C	100	100
  运行（周围环境）（5）	°C	+10 … +50	+10 … +50
  在法兰处烘烤	°C	≤110	≤110
  贮存	°C	–20 … +65	–40 … +65
  电源电压		+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
  功耗
  加热时	W	≤20	≤20
  运行温度	W	≤14	≤14
  输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10	0 … +10
  反应时间 (2)	ms	30	30
  保护等级		IP 40	IP 40
  标准
  CE 合规		EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
  ETL 认证		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
  SEMI 合规 (5)		SEMI S2
  电气连接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
  设定点
  设定点数量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
  继电器触点	V (dc) A (dc)	≤30	≤30
  滞后	percent FS	1	1
  诊断端口
  协议		RS232-C	RS232-C
  读数		pressure, status, ID	pressure, status, ID
  设置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
  暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))	Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
  内部容积
  内部容积 1/2'' 管	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
  内部容积 DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
  内部容积 DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
  内部容积 8 VCR®	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
  重量
  重量 1/2'' 管	g	837	837
  重量 DN 16 ISO KF	g	852	852
  重量 DN 16 CF-R	g	875	875
  重量 8 VCR®	g	897	897
  EtherCAT
  协议 EtherCAT		protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT
  通讯标准		ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"	ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
  数据率	Kbps	100000	100000
  节点地址		Explicit Device Identification	Explicit Device Identification
  物理层		100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
  数字功能读取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
  数字功能设置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
  过程数据		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
  邮箱 (CoE)		SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information
  EtherCAT 连接器		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
  电缆		shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher
  电缆长度	m (ft.)	≤100 (330)	≤100 (330)
  CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-sub, 15 pin, male	D-sub, 15 pin, male

  (1) 在25℃操作温度下的非线性、滞后和可重复性在操作2小时后不丑温度影响。

  (2)提高 10 … 90% FS

  。(3) 仅针对压力控制型

  。(4) 18% 铬、10% 镍、3% 钼、69% 铁。

  (5)环境温度 >40°C 可增大表面温度高于 SEMI S2 的规定值

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