英福康(INFICON）高速电容式隔膜真空计Stripe CDG045Dhs 英福康INFICON真空计 苏州南京上海INFICON英福康真空计、检漏仪

英福康(INFICON）高速电容式隔膜真空计Stripe CDG045Dhs  英福康INFICON真空计  苏州南京上海INFICON英福康真空计、检漏仪

益处

• 高生产力 - 响应时间快于 2ms
• 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
• 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
• 忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性

典型应用

• 原子层沉积
• 高速过程控制
• PVD、CVD、刻蚀

  规格

  类型		1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar	0.02 ... 0.01Torr / mbar
  精度 (1)	% of reading	0.15	-
  精度	% of reading	-	0.2
  温度效应
  零点	percent FS/°C	0.0025	-
  在零点 0.5 ... 0.05 乇/毫巴	percent FS/°C	0.005	-
  在零点 0.02 ... 0.01 乇	percent FS/°C	-	0.01
  满量程	% of reading / °C	0.01	0.01
  *大压强
  P *大 1000乇/毫巴	kPa (absolute)	400	400
  P*大 500 ... 1乇/毫巴	kPa (absolute)	260	260
  P *大 0.5 ... 0.01乇/毫巴	kPa (absolute)	130	130
  分辨率	percent FS	0.003	0.003
  *低读数	percent FS	0.01	0.01
  建议的*低读数	percent FS	0.05	0.05
  建议的*低控制压力	percent FS	0.5	0.5
  温度
  运行（环境）	°C	+10 … +40	+10 … +40
  在法兰处烘烤	°C	≤110	≤110
  贮存	°C	–20 … +85	–20 … +85
  电源电压		+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
  功耗
  加热时	W	≤14	≤14
  运行温度	W	≤9	≤9
  输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10	0 … +10
  反应时间 (2)	ms	2	2
  保护等级		IP 30	IP 30
  标准
  CE 合规		EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
  ETL 认证		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
  SEMI 合规		SEMI S2	SEMI S2
  电气连接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
  设定点
  设定点数量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
  继电器触点	V (dc) A (dc)	≤30	≤30
  滞后	percent FS	1	1
  诊断端口
  协议		USB	USB
  读数		pressure, status, ID	pressure, status, ID
  设置		set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
  暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))	Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
  内部容积
  内部容积 1/2'' 管	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
  内部容积 DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
  内部容积 DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
  内部容积 8 VCR®	cm³ (in.³)	4.2 (0.26)	4.2 (0.26)
  重量
  重量 1/2'' 管	g	837	837
  重量 DN 16 ISO KF	g	852	852
  重量 DN 16 CF-R	g	875	875
  重量 8 VCR®	g	897	897
  EtherCAT
  协议 EtherCAT		protocol specialized for EtherCAT	protocol specialized for EtherCAT
  通讯标准		ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"	ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
  节点地址		Explicit Device Identification	Explicit Device Identification
  物理层		100BASE-Tx (IEEE 802.3)	100BASE-Tx (IEEE 802.3)
  数字功能读取		pressure, status, ID	pressure, status, ID
  数字功能设置		set points, filter, zero adjust, reset, DC offset	set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
  过程数据		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping	Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
  邮箱 (CoE)		SDO requests, responses and information	SDO requests, responses and information
  EtherCAT 连接器		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT	RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
  电缆		shielded Ethernet CAT5e or higher	shielded Ethernet CAT5e or higher
  电缆长度	m (ft.)	≤100 (330)	≤100 (330)

  (1) 非线性，迟滞，在 25 °C 环境工作温度中的可重复性，2 小时工作后无温度影响。

  (2) 提高 10 … 90 % FS

• 一般高温真空应用

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