INFICON英福康真空计 Stripe CDG100Dhs 德国英福康真空计 进口真空计 合肥武皮拉尼真空计 贵阳成都西安重庆英福康INFICON真空计

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益处

• 高生产力 - 响应时间快于 2 ms
• 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
• 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
• 忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性

典型应用

• 原子层沉积
• 高速过程控制
• PVD、CVD、刻蚀

  规格

  类型		1000 ... 500 Torr / mbar	200 ... 1 Torr / mbar	0.5 ... 0.1 Torr / mbar
  精度 (1)	% of reading	0.2	0.2	0.4
  温度效应
  零点	percent FS/°C	0.0025	0.0025	0.005
  满量程	% of reading / °C	0.02	0.02	0.02
  压力，*大	kPa (absolute)	400	260	130
  分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003
  *低读数	percent FS	0.01	0.01	0.01
  建议的*低读数	percent FS	0.05	0.05	0.05
  建议的*低控制压力	percent FS	0.5	0.5	0.5
  温度
  运行（环境）	°C	+10 … +50	+10 … +50	+10 … +50
  在法兰处烘烤	°C	≤110	≤110	≤110
  贮存	°C	–20 … +85	–20 … +85	–20 … +85
  电源电压		+14 … +30 VDC or±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)	+14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
  功耗
  加热时	W	≤16	≤16	≤16
  运行温度	W	≤11	≤11	≤11
  输出信号（模拟）	V (dc)	0 … +10	0 … +10	0 … +10
  反应时间 (2)	ms	2	2	2
  保护等级		IP 30	IP 30	IP 30
  标准
  CE 合规		EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
  ETL 认证		UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1	UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
  SEMI 合规		SEMI S2	SEMI S2	SEMI S2
  电气连接		D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male	D-sub, 15 pole, male
  设定点
  设定点数量		2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)	2 (SP1,SP2)
  继电器触点	V (dc) A (dc)	≤30	≤30	≤30
  滞后	percen

• 一般高温真空应用

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