英福康(INFICON )BAG402 中真空至超高真空真空计 合肥南京上海INFICON英福康真空计 昆山苏州无锡常州英福康真空计 杭州泉州南昌长沙英福康

益处

• 测量范围从 5×10^-10 mbar 到 2.7×10^-2 mbar（3.75×10^-10 Torr 到 5×10^-2 Torr）
• 出色的可重复性，在 10^-8 … 10^-2 mbar 工艺压力范围内为 5%
• 过压检测保护，防止灯丝烧毁
• 两根长寿命氧化铱灯丝
• 发射电流选择，降低控制的繁琐
• 植入校准数据的传感器元件可确保规管的高精准性，并且易于更换
• 符合RoHS

典型应用

• 半导体工艺和传送腔室的压强测量
• 工业镀膜

  规格

  类型		BAG402
  测量范围 (空气, 氧2, 一氧化碳, 氮2)	mbar Torr	5×10-10 … 2.7×10-2
  精度
  10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	±15
  重复性
  10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	5
  除气 (1)
  p < 7.2 × 10-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
  压强, *大	bar (absolute)	2
  温度
  操作 (环境)	°C	0 … +50
  储存	°C	-20 … +70
  法兰口的烘烤，不带BPG402-S电子单元	°C	80
  供电电压	V (dc) A (dc)	+20 … +28
  输出信号模拟 (4)
  输出信号	V	0 … +10
  测量范围 log / lin	V	0 … +9
  电压 vs. 压强	volts per decade	1
  错误信号	V	> +10
  负载阻抗, *小	kΩ	10
  **模拟输出		none
  设点继电器
  设定点数量		none
  范围
  继电器触点
  滞后
  触点额定值
  数字功能		degas and emission
  接口 (数字) (2)		Diagnosis port
  发射控制		manual
  灯丝		two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
  灯丝状态 / 继电器		LED / relay
  电气连接		D-Sub, 9-pin, male
  电缆长度，*大值	m (ft.)	100 (330)
  暴露于真空中的材料		Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
  内部容积 KF / CF	cm³ (in.³)	24 (1.46) / 34 (2.1)
  重量 KF / CF	g	450 / 710
  保护级别		IP30

  1）除气期间准确性降低

  2）不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线

• 从低真空到超高真空范围的普通真空测量及控制

  零件号

  BAG402
  零件号	明细
  353-600	BAG402 DSUB9 KF25
  353-601	BAG402 DSUB9 CF40