英福康MPG40x 大气压至超高真空真空计MPG400 MPG401真空计 苏州南京常州无锡昆山吴江张家港太仓常熟英福康INFICON真空计 合肥武汉重庆英福

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INFICON 倒置磁控管皮拉尼MPG400 和 MPG401型真空计测量，范围范围从 5 x 10^-9 毫巴至大气压（3.8 x 10^-9 托至大气压）。 将多项技术融合到到一个带有对数模拟输出信号的单个紧凑数装置中，极大降低了安装、设置和集成的复杂性。

益处

• 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
• 测量范围广，从 5 x 10^-9 毫巴到大气压
• 不会出现单丝烧毁的现象
• **的点火属性
• 易于清洁
• FPM 或金属密封馈入装置
• 高压 LED 指示灯
• 对数模拟输出信号

典型应用

• 高真空压力监控
• 蒸发系统和溅射系统的基本压力
• 中高真空范围内的一般真空测量和控制

  规格

  类型		MPG400 FPM sealed	MPG401 metal-sealed
  测量范围（空气，N2）	mbar Torr	5 x 10-9 … 1000	5 x 10-9 … 1000
  精度 (N2)
  1 x 10-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±30%	≈±30%
  可重复性
  1 x 10-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±5%	≈±5%
  安装定位		any	any
  容许压力	bar (absolute)	≤10 (limited to inert gases)	≤10 (limited to inert gases)
  容许温度
  运行（环境）	°C	+5 … +55	+5 … +55
  贮存	°C	–40 … +65	–40 … +65
  烘烤 (1)	°C	150	150
  单丝温度（皮拉尼）	°C	120	120
  电源电压
  真空计上	V (dc)	+15 … +30	+15 … +30
  缆线*长的电源装置 (2)	V (dc)	+16 … +30	+16 … +30
  波纹	V (p-p)	≤1	≤1
  功耗	W	≤2	≤2
  可连接的保险丝	AT	≤1	≤1
  输出信号（测量信号）
  电压范围	V	0 … +10.5	0 … +10.5
  测量范围	V	+1.82 … +8.6	+1.82 … +8.6
  电压与压强		logarithmic, 0.6 volts per decade	logarithmic, 0.6 volts per decade
  错误信号
  无电源	V	<0.5	<0.5
  皮拉尼传感器，单丝断裂	V	>9.5	>9.5
  输出电阻	Ω	2 x 10	2 x 10
  *小负载电阻	kΩ	10, short-circuit proof	10, short-circuit proof
  反应时间
  p > 10-6 毫巴	ms	<10	<10
  p = 10-8 毫巴	ms	≈1000	≈1000
  识别真空计		85, referenced to supply common	85, referenced to supply common
  状态
  仅皮拉尼模式	V	0 (low)	0 (low)
  复合皮拉尼 / 冷阴极模式	V	15 … 30 (high)	15 … 30 (high)
  LED	LED green	high voltage on	high voltage on
  电气连接		FCC 68 appliance connector, 8 poles, female	FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
  传感器电缆		8 poles plus shielding	8 poles plus shielding
  电缆长度	m	≤50 (8 x 0.14 mm2)	≤50 (8 x 0.14 mm2)
  运行电压	kV	≤3.3	≤3.3
  运行电流	µA	≤500	≤500
  暴露于真空的材料		stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W	stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
  内部容积	cm³	≈20	≈20
  重量
  DN 25 ISO-KF	g	≈700	≈730
  DN 40 ISO-KF	g	≈720	≈750
  DN 40 CF-F	g	≈980	≈1010
  保护类别		IP 40	IP 40
  标准
  CE 合规		EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1	EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

  1) 没有电子和磁遮蔽。

  2) 必须根据传感器电缆的长度按比例增加电源的*低电压。

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