英福康贝阿德-阿尔珀特皮拉尼真空计BPG400 大气压至超高真空真空计 苏州合肥南京重庆西安INFICON英福康真空计

英福康贝阿德-阿尔珀特皮拉尼真空计BPG400 大气压至超高真空真空计 苏州合肥南京重庆西安INFICON英福康真空计

益处

• 测量范围非常广，从 5×10^-10 毫巴至大气压（3.8×10^-10 托至大气压）
• 10^-8 … 10^-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
• 皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染
• 使用寿命长的氧化钇铱丝
• 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
• RoHS 合规
• 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

• 对半导体过程和传输腔室的压力测量
• 工业镀膜
• 低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

  规格

  类型		BPG400
  测量范围（空气、O2、CO、N2）	mbar Torr	5×10-10 … 1000
  精度
  10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	±15
  可重复性
  10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	5
  除气 (1)
  p < 7.2 × 10-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
  压力，*大	bar (absolute)	2
  温度
  运行（环境）	°C	0 … +50
  贮存	°C	-20 … +70
  在法兰处烘烤，有延伸件	°C	150
  在法兰处烘烤，无延伸件	°C	80
  移除烘烤电子设备	°C	150
  电源电压	V (dc) A (dc)	+20 … +28
  输出信号模拟
  输出信号	V	0 … +10
  测量范围	V	+0.774 … +10
  电压与压强	volts per decade	0.75
  错误信号	V	0.3 / 0.5
  *小负载电阻	kΩ	10
  接口（数字）(2)		RS232C
  电气连接		D-Sub, 15-pin, male
  电缆长度，*大 (3)	m (ft.)	100 (330)
  暴露于真空的材料		Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
  内部容积 KF / CF	cm³ (in.³)	24 (1.46) / 34 (2.1)
  重量 KF / CF	g	285 / 550
  保护等级		IP30
  Profibus DP
  波特率	kBaud Mbaud	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
  地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
  数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
  模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
  设定点继电器： 设定点数量		2
  设定点继电器： 范围	mbar	1×10-9 … 100
  设定点继电器： 继电器触点		n.o., potential free
  设定点继电器： 滞后	% of reading	10
  设定点继电器： 触点额定值	V (dc) A (dc)	60
  Profibus DP 连接器		D-Sub, 9-pin, female
  BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male
  DeviceNet™
  协议		DeviceNet™, group 2 slave only
  数据率开关	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
  电缆长度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
  电缆长度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
  电缆长度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
  MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
  数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
  模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
  技术规格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
  设备类型		''CG'' for combination gauge
  I / O 从属传讯		polling only
  设定点继电器： 设定点数量		2
  设定点继电器： 范围	mbar	1×10-9 … 100
  设定点继电器： 继电器触点		n.o., potential free
  设定点继电器： 滞后	% of reading	10
  设定点继电器： 触点额定值	V (dc) A (dc)	60
  DeviceNet™ 电源电压	V (dc) A (dc)	+11 … +25
  真空计电源电压	V (dc) A (dc)	+20 … +28
  DeviceNet™ 连接器		Microstyle, 5-pin
  BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male

  1) 除气期间降低精度

  2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列，不允许使用现场总线

  3) 适用于 RS232C 运行 <30m

  BPG400
  零件号	明细
  102072681	BPG400规管
  353-500	BPG400 规管
  353-500-11	BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
  353-500-I0	BPG400规管
  354-498	Spare electronic BPG400 without Display
  354-499	Spare electronic BPG400 with Display
  353-501	BPG400 规管
  353-502	BPG400 规管
  353-503	BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
  353-505	复合真空规
  353-506	BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
  353-507	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
  353-508	BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

  
  

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