日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VPC-260F
日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VPC-260F 日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VPC-260F 日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VPC-260F 日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VPC-260F 小型真空镀膜装置 VPC-260F VPC系列／小型真空镀膜装置 特 性 在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的电阻加热式低成本小型真空蒸发装置。*适合用于小基板尺寸的基础研究开发等实验。 应 用 1. 通过玻璃钟罩可看到内部，操作性能良好。 2. 不会使主泵停止运转，可以对真空槽进行开放。 3. 通过蒸发电源和电极的追加，实现同时蒸镀和多层蒸镀。 4. 带脚轮，容易移动的镀膜装置。 规格参数 型 号 VPC-260F 真空性能 极限压力 1.3 × 10-3Pa 6.6 × 10-4Pa (使用液氮时) 排气时间 4.0 × 10-3Pa/20min 1.3 × 10-3Pa/20min (使用液氮时) 真空舱 钟罩尺寸 玻璃钟罩 （直径300mm × 300mm(H)) 馈通圈 8个端口（8侧面） 标准基板・*大尺寸※1 □50mm ・ □140mm（*大） 供电系统 蒸发电极结构 1点式 蒸发电源 SEREM “PSE-150C”, 0 – 10V , 150A (*大) 排气系统 主泵 油扩散泵（气冷） 200 L/sec 液氮冷阱 有 前级泵 油旋片真空泵 100 L/min 油雾过滤器 可选 操作系统 主阀门 瓣阀 副阀门 三向切换阀 自动渗漏阀 可选 控制 手动控制 控制系统 皮拉尼真空计 可选 电离真空计 可选 外形 尺寸（主体） 530mm(W) × 550mm(D) × 1135mm(H) 尺寸（蒸发电源） 480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H) 重量（主体） 75kg 重量（蒸发电源） 40kg ※1:不考虑基板*大尺寸时的膜厚分布值。 条 件 型 号 VPC-250F 电源需求 主体 单相, 100V, 1.35kVA 蒸发电源 单相, 200V, 1.5kVA 接地端子 D级（接地抗阻/100Ω 或更低） 附件 主体 ： 单相, 100V 乙烯绝缘软电缆（带插头） 2m 蒸发电源 ： 单相, 200V 乙烯绝缘软电缆（R2.0-5帯端子） 2m 外形图 VPC-260F 蒸发电源 SEREM 馈通圈 标准构造 可选部件 ※如果您单击一个选项，您可以看到这个选项中的内容。