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产品资料

日本原装进口爱发科ULVAC高速真空镀膜装置 VPC-1100

日本原装进口爱发科ULVAC高速真空镀膜装置 VPC-1100
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  • 产品名称：日本原装进口爱发科ULVAC高速真空镀膜装置 VPC-1100
  • 产品型号：日本原装进口爱发科ULVAC高速真空镀膜装置 VPC-1100
  • 产品展商：爱发科
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简单介绍
日本原装进口爱发科ULVAC高速真空镀膜装置 VPC-1100 日本原装进口爱发科ULVAC高速真空镀膜装置 VPC-1100
产品描述
日本原装进口爱发科ULVAC高速真空镀膜装置 VPC-1100

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日本原装进口爱发科ULVAC高速真空镀膜装置 VPC-1100
日本原装进口爱发科ULVAC高速真空镀膜装置 VPC-1100

高速真空镀膜装置 VPC-1100
VPC系列／高速真空镀膜装置


特　性

在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、皮拉尼真空计、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器，并且配备了钟罩升降装置，是电阻加热式高速型真空蒸发装置。使用与保养检修很简单，*适合用于大基板尺寸的基础研究开发等实验。
 
应　用

・
电子材料、半导体、太阳能电池的基础研发。
・
EL 有机层薄膜研发。

规格参数

型　号
VPC-1100
真空性能
极限压力
4.0 × 10-4Pa
1.3 × 10-4Pa (使用液氮时)
排气时间
4.0 × 10-3Pa/10min 
10-4Pa/10min (使用液氮时)
真空舱
钟罩尺寸
玻璃钟罩 （直径390mm × 350mm(H))
馈通圈
20个端口（14侧面、6底面）
标准基板・*大尺寸※1
□50mm ・ □220mm（*大）
供电系统
蒸发电极结构
3点式
蒸发电源
SEREM　“PSE-150C”，0 – 10V ，150A (*大)
排气系统
主泵※2
油扩散泵（水冷） 1100 L/sec
液氮冷阱
有
前级泵
油旋片真空泵 100 L/min　×2
油雾过滤器
可选
操作系统
主阀门
瓣阀
副阀门
三向切换阀
自动渗漏阀
可选
控制
手动控制
控制系统
皮拉尼真空计
GP-1G
电离真空计
可选
外形
尺寸（主体）
1235mm(W) × 836mm(D) × 2155mm(H)
尺寸（蒸发电源）
安装在设备的主体
重量（主体）
313kg
重量（蒸发电源）
安装在设备的主体
※1: 不考虑基板*大尺寸时的膜厚分布值。
※2: 可以安装涡轮分子泵（TMP）。
条　件

型　号
VPC-1100
电源需求
主体
三相, 200V, 5.0kVA
主体
单相, 100V, 1.0kVA
接地端子 D级（接地抗阻/100Ω 或更低）
附件
主体 ： 三相，200V
乙烯绝缘软电缆（R3.5-4帯端子） 4m
主体 ： 单相，100V
乙烯绝缘软电缆（带插头） 4m
用水需求 1.5L/min（水温：低于20-25℃，水压：200kPa）
附件 Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头)
推荐软管※ 蒂托轮编织软管（内径9mm×外径15mm）
※ 冷却水管由客户自己准备。
外形图

VPC-1100

蒸发电源　SEREM

馈通圈

标准构造

[1]
挡板
[2]
过滤器
[3]
备用（L）
[4]
备用 (S)
[5]
测压孔1
[6]
真空密封口3个
[7]
开闭器
[8]
电极COM
[9]
电极 1
[10]
电极 2
[11]
电极 3
[12]
支柱
※根据研究和开发的目的、可以变更。

可选部件
※如果您单击一个选项，您可以看到这个选项中的内容。

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