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产品资料

日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH

日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH
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  • 产品名称：日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH
  • 产品型号：日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH
  • 产品展商：爱发科
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简单介绍
日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH 日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH
产品描述
日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH

日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH

日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH
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日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH
日本原装进口爱发科ULVAC小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH

小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH
DEPOX系列／小型真空镀膜装置



 
特　性

在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、皮拉尼真空计、电离真空计、真空管、电力系统等必要机器的电阻加热式小型真空蒸发装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单，*适合用于基础研究开发等实验。
 
应　用

1.
金属与有机材料镀膜装置。
2.
真空排气设备的多种组合。
3.
强化**性与可靠性。
4.
多层镀膜与同时镀膜（*大：4 层）还配有额外蒸发电源与电极。
5.
玻璃钟罩方便观察与维护。

规格参数

型　号
VTR-350M/ERH
真空性能
极限压力
4.0 × 10-4Pa
2.0 × 10-4Pa (使用液氮时)※1
排气时间
4.0 × 10-3Pa/10min 
3.0 × 10-3Pa/10min (使用液氮时)※1
真空舱
钟罩尺寸
玻璃钟罩 （直径300mm × 300mm(H))
馈通圈
12个端口（8侧面、4底面）
标准基板・*大尺寸 ※2
□50mm ・ □140mm（*大）
供电系统
蒸发电极结构
1点式
蒸发电源
SEREM　“PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (*大)
排气系统
主泵
涡轮分子泵（气冷） 345 L/sec
液氮冷阱
可选
前级泵
油旋片真空泵 200 L/min
油雾过滤器
油雾过滤器　OMI-200
操作系统
主阀门
蝶阀
副阀门
三向切换阀
自动渗漏阀
有
控制
手动控制
控制系统
皮拉尼真空计
GP-1G
电离真空计
GI-M2
外形
尺寸（主体）
730mm(W) × 584mm(D) × 1161mm(H)
尺寸（蒸发电源）
480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
重量（主体）
165kg
重量（蒸发电源）
40kg
※1 : LN2冷阱为选件。
※2 : 不考虑基板*大尺寸时的膜厚分布值。

条　件

型　号
VTR-350M/ERH
电源需求
主体
单相, 100V, 1.4kVA
蒸发电源
单相, 200V, 1.5kVA
接地端子 D级（接地抗阻/100Ω 或更低）
附件
主体 ： 单相、100V
乙烯绝缘软电缆（R3.5-4帯端子） 4m
蒸发电源 ： 单相、200V
乙烯绝缘软电缆（R2.0-5帯端子） 2m

外形图

VTR-350M/ERH

蒸发电源　SEREM

馈通圈

标准构造


※根据研究和开发的目的、可以变更。

可选部件
※如果您单击一个选项，您可以看到这个选项中的内容。

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