德国普发pfeiffer HiCube 80 Eco分子泵泵组订货号:PM S74 200 00
技术参数 50 Hz 前级泵的抽速 1,8 m³/h N2 的抽速 67 l/s *终压力 < 1 · 10-7 hPa | < 7,5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar 重量 13,7 kg | 30,2 lb 尺寸