德国普发pfeiffer HiCube 80 Eco 分子泵泵组 订货号：PM S75 100 00
技术参数 50 Hz 前级泵的抽速 1 m³/h N2 的抽速 67 l/s *终压力 < 1 · 10-10 hPa | < 7,5 · 10-11 Torr | < 1 · 10-10 mbar 重量 13,5 kg | 29,76 lb 尺寸