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产品名称：英国爱德华STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K PT640Z010
产品型号：英国爱德华STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K PT640Z010
产品展商：爱德华
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简单介绍

STP 泵（带集成控制器） STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的优选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴，确保无污染的风险，同时将振动、噪声以及维护需求降至*低。STP 泵可与各种先进的控制器**连接，从而可用于多种应用和制程中。英国爱德华STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K PT640Z010 英国爱德华STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K PT640Z010

产品描述

STP 泵（带集成控制器）

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的优选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴，确保无污染的风险，同时将振动、噪声以及维护需求降至*低。STP 泵可与各种先进的控制器**连接，从而可用于多种应用和制程中。

概述

STP-iX455 涡轮分子泵具有**性磁力轴承和电机驱动系统，与上一代涡轮泵相比将振动降低了 50%。采用集成的控制器，不需要使用传统的安装于机架上的控制器及互连电缆，不需要水冷却。
此泵的氮气抽速为 450 ls-1。STP-iX455 极为适合电子显微镜、度量学、光刻和其他对振动敏感的应用。

应用

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理：射束线、加速器
放射线应用：融合系统、回旋

功能和优势

紧凑型设计，包括完全集成的控制器
**性自传感轴承系统
数字化 5 轴控制
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
自动平衡系统 (ABS) 标准
自动减振 (AVR) 标准
列于 UL 中，具有 CE 标记，符合 SEMI® S2

技术数据

入口法兰	ISO100K
抽速
N2	300 ls-1
H2	300 ls-1
压缩比
N2	>108
H2	>1 x 104
极限压力	6.5 x 10-6 Pa
*大工作压力	1.3 x 10-1 Pa
允许的前级压力	67 Pa
额定速度	55000 rpm
启动时间	<6 分钟
固定位置	任何方向
冷却方法	自然冷却（加热和气体泵送时进行水冷却或空气冷却）
润滑油	不需要
前级泵	240 lmin-1
泄露磁通量
轴向方向	<100 m/Gauss
径向方向	<100 m/Gauss
环境温度范围	0 至 40 °C
存储温度范围	-25 至 55 °C
重量	15 kg

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英国爱德华STP-iX455 涡轮分子泵 ISO100K PT640Z010

STP 泵（带集成控制器）

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