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产品资料

英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP301C ISO100 入口 B74871010

英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP301C ISO100 入口 B74871010
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  • 产品型号:STP301C ISO100 入口 B74871010
  • 产品展商:爱德华
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简单介绍
超高真空 STP 泵 STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的优选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至*低。STP 泵可与各种先进的控制器**连接,从而可用于多种应用和制程中。 英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP301C ISO100 入口 B74871010 英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP301C ISO100 入口 B74871010
产品描述

超高真空 STP 泵

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的优选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至*低。STP 泵可与各种先进的控制器**连接,从而可用于多种应用和制程中。

概述

Edwards 的防腐蚀 STP301C 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现**的性能,*大的制程灵活性。STP301C 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。
此 STP 泵在供货时带有入口筛网。
  
如需完整安装,请订购一台 STP 泵、一个控制器、一根连接电缆和一根电源电缆。

应用

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送端点站
  • MBE
  • 扩散
  • 光致抗蚀剂脱模
  • 晶体/晶膜生长
  • 晶片检查
  • 负载锁真空腔
  • 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
  • 高能物理:射束线、加速器
  • 放射线应用:融合系统、回旋

功能和优势

先进的转子技术  
  • *大的制程灵活性
  • 无油
  • 低振动
  • 高度可靠
  • 免维护
先进的控制器设计  
  • 自动调整
  • 自行诊断功能
  • 直流电机驱动
  • 无电池运行
紧凑型设计  
  • 占地面积小
  • 半机架控制器

    技术数据

    入口法兰 ISO100,CF100
    出口 KF25
    抽速
      N2 300 ls-1
      H2 300 ls-1
    压缩比
      N2 >108
      H2 >2 x 104
    加热时的极限压力(VG/ISO 法兰) 6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
    加热时的极限压力(ICF 法兰) 10-8 Pa (10-10 Torr)
    *大允许进气口压力(环境空气冷却) 0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
    *大连续出口压力(环境空气冷却) 13 Pa (0.1 Torr)
    额定速度 48000 rpm
    启动时间 3 min
    *高入口法兰温度 120 °C
    输入电压 100 至 120 (± 10%) V 交流或

    200 至 240 (± 10%) V 交流
    启动时的功耗 0.55 kVA
    泵重量 11 kg
    控制器重量 7 kg
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