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产品资料

英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP-XA2703C ISO250 PT660Z140

英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP-XA2703C ISO250 PT660Z140
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  • 产品名称:英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP-XA2703C ISO250 PT660Z140
  • 产品型号:STP-XA2703C ISO250 PT660Z140
  • 产品展商:爱德华
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简单介绍
高流量和高处理能力 STP 泵 STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的优选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至*低。STP 泵可与各种先进的控制器**连接,从而可用于多种应用和制程中。 英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP-XA2703C ISO250 PT660Z140 英国爱德华EDWARDS涡轮分子真空泵STP-XA2703C ISO250 PT660Z140
产品描述

高流量和高处理能力 STP 泵

STP 磁悬浮涡轮分子泵是长时间无碳氢化合物的泵操作的优选泵。多轴磁力轴承系统用于在运行期间悬起转轴,确保无污染的风险,同时将振动、噪声以及维护需求降至*低。STP 泵可与各种先进的控制器**连接,从而可用于多种应用和制程中。

概述

STP-XA2703C 涡轮泵为高真空到 2300 sccm 制程流的制程范围内提供高性能,并提高所有气体的吞吐量。此泵基于新的平台设计,提供各种功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高*大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。其出色的性能既适用于温和的应用环境,也适用于严苛的环境,例如半导体刻蚀、注入、光刻和 LCD 制程。

应用

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 溅射
  • 离子注入源,射束线泵送端点站
  • MBE
  • 扩散
  • 光致抗蚀剂脱模
  • 晶体/晶膜生长
  • 晶片检查
  • 负载锁真空腔
  • 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
  • 高能物理:射束线、加速器
  • 放射线应用:融合系统、回旋

技术数据

入口法兰 VG250
抽速
  N2 2650 ls-1
  H2 2050 ls-1
压缩比
  N2 >108
  H2 >6 x 103
极限压力 10-7 Pa
*大允许前级压力 266 Pa
*大允许气体流量
N2(水冷却) 2300 sccm

(3.8 Pam3s-1)
Ar(水冷却) 1900 sccm

(3.2 Pam3s-1)
额定速度 27500 rpm
启动时间 8 min
固定位置 任何方向
水冷却流量 3 lmin-1
水冷却温度 5-25 °C (41-77 °F)
压力 0.3 MPa
推荐的吹扫气体流量 50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)
输入电压 200 至 240 V 交流(± 10)
功耗 1.5 kVA
泵重量 75 kg (165 lb)
控制器重量 12 kg (26.4 lb)
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