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产品资料

英国爱德华SCU-XL800 涡轮分子泵控制器 SCU-XL800 TURBOMOLECULAR PUMP CONTROL UNIT

英国爱德华SCU-XL800 涡轮分子泵控制器 SCU-XL800 TURBOMOLECULAR PUMP CONTROL UNIT
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  • 产品名称：英国爱德华SCU-XL800 涡轮分子泵控制器 SCU-XL800 TURBOMOLECULAR PUMP CONTROL UNIT
  • 产品型号：SCU-XL800 TURBOMOLECULAR PUMP CONTROL UNIT
  • 产品展商：爱德华
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简单介绍
英国爱德华SCU-XL800 涡轮分子泵控制器 SCU-XL800 TURBOMOLECULAR PUMP CONTROL UNIT 英国爱德华SCU-XL800 涡轮分子泵控制器 SCU-XL800 TURBOMOLECULAR PUMP CONTROL UNIT
产品描述

概述

完全数字化的 SCU-XL800 涡轮泵控制器与 600 l/s 到 1300 l/s 范围内的 STP 涡轮泵兼容。
  
SCU-XL800 可降低 300 Hz 以下的振动级，这种级别的振动使用机械隔振器很难消除。
  
它使用数字信号处理器 (DSP) 技术，可在整个频谱范围内实现亚毫微米的振动级。此控制器适用于电子显微镜检查、度量学和光刻系统，在这些系统中，低的振动对于应用至关重要。
  
有关详细信息，请与 Edwards 联系。

功能和优势

  • 提高了 STP 泵系列的性能
    • 新型磁力轴承系统可在整个频谱范围内实现亚毫微米级振动
    • 降低了低频振动幅度，这种级别的振动使用机械隔振器很难消除
    • 自动平衡系统 (ABS)
    • 自动减振 (AVR)
  • 兼容的型号
    • STP-603/1003、STP-A803/A1303C
    • 自动识别适用的泵
  • **预维护功能
    • **的维护定时
    • 双级警告信息
    • 转子不平衡监控
    • 后备轴承损坏监控
    • 自行诊断功能
  • 认证
    • 符合 SEMI®，具有 CE 标记，列于 UL 中
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