这类阀是软启动的气动操作管线阀,带有可更换的孔板,可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。
随动阀和主阀的组合使得初始泵送可以缓慢进行,以尽可能减少干扰。随动阀和主阀都需要单独的气动连接。