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英国爱德华iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相 A59000946
产品资料
英国爱德华iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相 A59000946
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产品名称:
英国爱德华iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相 A59000946
产品型号:
英国爱德华iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相 A59000946
产品展商:
爱德华
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简单介绍
iH 干泵 Edwards iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品)提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列具有五级主泵,使用**的悬臂式转子、爪式和罗茨设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全封闭的水冷却电机。 英国爱德华iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相 A59000946 英国爱德华iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相 A59000946
产品描述
概述
Edwards **半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照*高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时*大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时*大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的**保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
技术数据
峰值速度
86 m
3
h
-1
51 cfm
1433 l min
-1
极限真空
3 x 10
-2
mbar
2.3 x 10
-2
Torr
3 Pa
典型轴封氮流量
4 slm
进气口连接
ISO63
出口连接
NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量
120 l h
-1
2 l min
-1
重量
240 kg
极限功率输入
2.4 kW
电机额定功率
2,9 kW
油容量
0.7 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
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