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英国爱德华GX1000N 干式泵 380-460 V 50/60 Hz A54781959
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英国爱德华GX1000N 干式泵 380-460 V 50/60 Hz A54781959
产品资料
英国爱德华GX1000N 干式泵 380-460 V 50/60 Hz A54781959
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
英国爱德华GX1000N 干式泵 380-460 V 50/60 Hz A54781959
产品型号:
英国爱德华GX1000N 干式泵 380-460 V 50/60 Hz A54781959
产品展商:
爱德华
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简单介绍
GX 干泵 Edwards GX 干真空泵系列为大修之间的零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。GX 干泵包括以太网连接功能,允许通过网页查看主要数据,另外还包括一套**的网络选项,可确保泵连续运转。 英国爱德华GX1000N 干式泵 380-460 V 50/60 Hz A54781959 英国爱德华GX1000N 干式泵 380-460 V 50/60 Hz A54781959
产品描述
概述
GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
GX 干泵包括以太网连接功能,允许通过网页查看主要数据,另外还包括一套**的网络选项,可确保泵持续运转。
GX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载的各种工艺。模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
金属腐蚀
植入源
功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比,设施成本*多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便,便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的*快的负载锁定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m
3
h
-1
技术数据
绩效
峰值速度
800 m
3
h
-1
471 ft
3
min
-1
13333 lmin
-1
极限压力
1 x 10
-3
mbar
7.5 x 10
-4
Torr
0.10 Pa
700 Torr 排气压力下的极限
功率
1.6 kW
AUC(有源设备控制器)
1.05 kW
水*
水入口
2 slm
氮气
4 或 14 slm **
安装详细信息
占地面积(不包括排气装置)
0.20 m
2
重量
230 kg
进气口连接
ISO 100
出气口连接
NW25
极限噪音
<55 dB(A)
* 需要恒流阀附件
** 氮吹扫可以手动调整到*大 39slm 的流量
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