英国爱德华pHMB1800

英国爱德华pHMB1800 近程增压泵 + PRV 200-230V，50-60 Hz A53303958

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产品名称：英国爱德华pHMB1800 近程增压泵 + PRV 200-230V，50-60 Hz A53303958
产品型号：英国爱德华pHMB1800 近程增压泵 + PRV 200-230V，50-60 Hz A53303
产品展商：爱德华
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简单介绍

pHMB 机械增压泵 Edwards pHMB 近程增压泵是水冷却型正向罗茨真空泵，专为半导体行业中的负载锁定应用而设计。这种泵可由变频器驱动，使用适当的前级泵进行控制。英国爱德华pHMB1800 近程增压泵 + PRV 200-230V，50-60 Hz A53303958 英国爱德华pHMB1800 近程增压泵 + PRV 200-230V，50-60 Hz A53303958

产品描述

概述

pHMB 近程增压泵是一种水冷的正向罗茨真空泵，通过一个交流变频器驱动。
每个泵都必须使用按制程和性能规范而选择的适当 Edwards 干泵做为后援。

注意：这些系统不适合用作独立的装置。

应用

pHMB1800 系统只应在传输腔应用中使用。

pHMB 只能与 iF 和 iH 前级泵系统一起使用。

技术数据

进气口法兰类型	ISO160
排气法兰类型	ISO100
电源	200-230 V，50-60 Hz，三相
电机额定功率	3.5 kW
水入口接头	3/8" 阳螺纹，快换接头
水出口接头	3/8" 阴螺纹，快换接头
*小冷却水流速	2 l min-1
冷却水供给温度范围	10-30 ºC
质量	289 Kg
极限噪音	<53.5 dBA
对前级管道产生的极限振动	<1.5mm/s
对地面产生的极限振动	<0.1 mm/s
工作压力范围（进气口）	极限真空至 1000 mbar*
工作压力范围（出口）	极限真空至 3000 mbar
达到标称泵性能的预热时间	15 分钟
泵送制程气体所需的*短预热时间	4 小时
工作环境温度范围	5ºC 至 40ºC
相对湿度	10-90%
存储	-40ºC 至 +55ºC
*大工作海拔高度	2000 m
污染度	2 (IEC60664-1)
与泵送气体接触的材料	钢、SG 铁、PTFE、氟橡胶和铝
变速箱油容量	0.7 l
油等级	SAE40/ISO150
推荐的油类型	Fomblin® 25/6 Krytox® 1525 Drynert® 25/6

* 在特定进气口压力下，pHMB 增压泵会由于气体压缩而变热，这会导致性能降低。如果较高的进气口压力在 3 分钟后得不到恢复，则增压泵可能会在这一较高压力下跳闸。

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