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离子风机的基础

美国静电协会和国际半导体设备和材料协会等组织的静电控制体系可以帮助企业解决静电问题。这些体系主要的技术方法是，用于静电导电材料和静电耗散材料直接接入大地以消散静电。不幸的是，产品本身和工作环境都不可避免地会用于绝缘材料。当绝缘材料就是产品本身的组成部分时，你无法将其替换，如高科技产品制造中会用于含有氧化层的硅片、半导体器件封装的环氧树脂、器件引脚上的绝缘材料、环氧树脂印刷线路板， FPDs 行业中的玻璃片等等。此外，适应特殊环境，如耐高温、耐腐蚀以及洁净室兼容用于的材料：特氟隆、石英以及许多塑料材料都是绝缘材料。接地不能消除绝缘材料上的静电荷，因此，多数情况下，**的办法就是用于离子风机中和处理。

尽管多数的静电控制体系中都推荐用于空气离子化，但它们却很少在文件当中说明空气离子化的用于方法以及在生产中用于离子风机产生的影响。对于许多行业来讲，用于空气离子化控制静电非常重要，希望通过本文能为空气离子化的用户提供一些被忽略的信息。
小空气离子能够在静电荷电场的作用下在空气中移动。一个静电场作用在带电离子的空气，会吸引相反极性的空气离子移向产生电场的电荷。离子被吸引到具有极性相反电荷的物体表面，直至电荷被中和，静电场消失为止。这是用于空气离子控制静电的基本原理。

离子风机的离子平衡度，或者说是偏执电压，可以用于充电板监测仪测量，这在静电协会关于空气离子化的标准中进行了定义。 ANSIESDSTM3.1 是**得到世界范围认可的离子化的标准，也为许多国际静电控制标准所推荐。作为标准的测试方法，它只对不同的系统或同一系统的整个过程，定义了测试仪器和测试方法，而没有指定技术要求，因为空气离子化用于中会有不同的情况。对于*终客户来说，要解决静电荷问题，放电时间应当予以确定。
选择离子化方式。被保护产品的 ESD 敏感度通常决定了*佳的离子化设备种类。越敏感的产品需要离子平衡能力越**，越稳定的离子化设备。它要求用于 CPM 测量离子化设备的平衡度不能超过几十伏。
选择离子风机还可能要考虑其他的一些因素。这包括能否用于气流，离子风机与工作区的距离，以及洁净室对于离子风机的兼容性等等。有多种方法可以通过电晕电离产生和推动带有两种极性离子的空气作用到工作区。这些方法主要区别在于是否用于交流高压，直流高压，或是脉冲直流产生离子。交流离子化。交流离子化技术的原理是，将交流高压加在彼此接近的离子发射极上，发射极会以 50 或 60Hz 的交流频率交替产生正负离子。由于高于电离电压点的时间只占整个时间的一部分，所以交流离子化的效率较低。

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