**SMC齿轮齿条式摆动气缸,SMC齿轮齿条式摆动气缸

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体积薄的线性导向轴承气动滑台可配合其它线性气缸及气爪用于拾放动
在半导体制造过程中腐蚀装置喷镀装置
离子注入装置和CVD装置等许多部分
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手 机；189 1707 4297
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都要把芯片和液晶基板放在真空室内处理该真空
不回转精度*安装方便从缸体的各面用螺钉固定或用法兰固定

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整行程 20、25、32、40、50、63、80、100
1.18 (With indicator light: 1.22)
D-C7/C80/H7 auto switches a
re assembled at the time of shipment
室供气排气(真空)用阀要求它们无泄漏耐腐蚀且是洁净规格
0.86 (With indicator light: 0.89)
Order auto switch mounting brackets sep
rately when D-A9(V)/M9(V)/M9W(V)
are mounted on ø10 and ø16 of the
rail mounting type. Refer to page 1562 for details.
缓冲器故气缸运动速度*吸收冲击能力强
小型 MGC 比MGG尺寸小、质量轻。带气缓冲，故运动速度*