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- 产品名称：日本神视晶圆定位传感器环境兼容性
- 产品型号：
- 产品展商：SUNX
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- 发布时间：2018-09-13
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简单介绍
日本神视晶圆定位传感器环境兼容性
投光元件 LED(调制式)
材质 外壳：ABS及SUS301、透镜： 丙烯
电缆 0.15mm2 5芯橡皮电缆，长300mm
电缆延长 0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m
日本神视晶圆定位传感器环境兼容性
产品描述
日本神视晶圆定位传感器环境兼容性
产品样本：
实现0.5ms的*速反应。兼顾*速反应性和*精度。
基于2段受光元件的*精度位置检测
利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通过反射光位置而非反射光量进行检测。
因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
M-DW1以反射光的位置来检测，不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。
因此，对于使用单波长激光的传感器，可能会因光全被吸收而无法检测。
而LED光源的光具有一定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。
结构图：
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中心测量距离
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45mm
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检测物体
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3英寸以上的半导体晶圆(注2)
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可对应检测面
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有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)
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检测角度
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12.5±5°(注4)
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晶圆间距
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间距3mm以上时，可按通常灵敏度进行分离检测(注5)
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适用晶圆盒
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SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒
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电源电压
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12〜24V DC±10% 脉动P-P10%以下
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消耗电流
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65mA以下
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日本神视晶圆定位传感器环境兼容性
