全新日本CKD先导式减压阀

全新日本CKD先导式减压阀

确认已将本产品的调压旋钮向逆时针方向转到底后，
口压力。关闭出口侧和进口侧阀门，低放置10分钟，确认
内，出口压力稳定后至少放置10分钟，
请通过打开操作缓慢将进口侧供应阀打开，提供进
与过去用焊接接头构成的系统相比，可大幅节省空间。
本系统是专为半导体设备供气管路而开发的，
体隔板及上阀盖轴孔部位镶有铜套，
可减小与O形圈间的摩擦力矩，
密封组件开启与关闭灵活，操作力矩小。
出口压力是否上升。顺时针转动
调压旋钮，将出口压力调整到调压范围
是一种将按照SEMI标准化的表面安装型气控阀
•流量控制器等进行紧凑型集约化的产品。
调整块和调节螺钉在两组密封组件不能
同步到位时可起调整作用，确保各通道密封**同步到位。
再确认出口压力是否上升。
切合客户的需求，进行布局
工作时借着阀外的驱动传动机构转动驱动轴，
带动摇拐臂，启动阀板，使工作流体时而从
左入口通向阀的下部出口，时而从
右入口变换通向下部出口，实现了周期变换流向的目的。