美国MKS真空计
MKS 925-11480-0059系列皮拉尼真空计
HPS系列的925
micropirani™传感器是一种基于MEMS.
925 独特的，基于MEMS（微机电系统）传感器。925是用于真空压力测量并提供模拟电压输出，数字接口和设定点继电器.用于过程控制。
美国MKS真空计 MKS 925-11480-0059系列皮拉尼真空计优势：
•增加压力测量范围从10-5乇大气，在一个标准的皮拉尼
• Three set point relays for
process control (option)
•三点继电器用于过程控制（选项）
• Ultra compact design
•超紧凑的设计
• High accuracy for improved
process control
•改进过程控制的高精度
• Ease of operation via analog
output and digital communication (RS232 or RS485)
通过模拟输出和数字通信（RS232或RS485易于操作•）
• MicroPiraniTM solid state
sensor is resistant to damage from air inrush or vibration
•micropiranitm固态传感器是从耐空气侵入或振动的损伤
• Mountable in any orientation
for ease of installation; no loss of measurement accuracy
•安装在任何方向，安装方便；没有损失的测量精度
• Optional display available
for local pressure indication
•可选显示可用的局部压力指示
• Alternate analog output and
electrical connectors available to match other vendors’
•交替的模拟输出和电连接器可与其他厂商，方便容易升级
• CE marked, compliant with EMC
Directive 2004/108/EEC
•CE标志，符合EMC指令2004／108／EEC
美国MKS真空计 MKS 925-11480-0059系列皮拉尼真空计应用：
925可以用在许多不同的真空应用在半导体的分析，
and coating industries:
涂料行业：
• General vacuum pressure
measurement
•一般真空压力测量
• Foreline and roughing
pressure measurement
•前级和粗压力测量
• Gas backfilling measurement
and control
•气体充填的测量与控制
• Mass spectrometer control
•质谱仪控制
• Activation of UHV gauges
•激活真空计
• System process control
•系统过程控制
• Control system pressure
•压力控制系统
美国MKS真空计 MKS 925-11480-0059系列皮拉尼真空计
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