高温压力传感器广泛应用于火箭发动机、航空发动机、重型燃气轮机、燃煤燃气锅炉等动力设备燃烧室内的压力监测。经过二十多年的研究，高温压力传感技术领域成果丰富。以敏感芯片的主体材料分类，对高温压力传感器的研究现状进行论述，重点分析基于SOI、SiC、蓝宝石、共烧陶瓷、压电晶体、SiCN陶瓷等材料的高温压力传感器的特点与局限以及国内外发展现状。*后展望高温压力传感器的发展趋势，并对国内高温压力传感器的发展方向提出建议。
引言
火箭发动机、航空发动机、重型燃气轮机、燃煤燃气锅炉等动力设备的主要部件处在高温恶劣环境，燃烧室温度甚至超过2000℃。利用高温传感器可对喷嘴燃烧室、压气机、叶片等关键部位的压力、温度等参量进行实时监测，提高燃烧性能和推进效率，并对部件健康状态进行评估。
液体火箭发动机的推力室主要由推进剂喷嘴、燃烧室、喷管组件等装置组成。当喷嘴处的压力足够高时，就会形成喷嘴阻流和超音速射流，大部分的热能就可转换成动能，对喷嘴处压力的实时监测有助于优化发动机燃烧室收缩比设计，可提高火箭发动机的推进效率。燃烧室点火延迟数毫秒都会导致过量液体进入，引起灾难性后果，通过燃烧室压力监测可**控制点火时间，避免燃烧室“硬启动”。燃烧室的间歇性燃烧、振荡燃烧会导致燃烧室隔热边界层变薄、运载器受损等后果。获取燃烧室内部、推进剂喷嘴处的实时压力，评估压力的低频振动，估算室压响应时间，对减少间歇燃烧、振荡燃烧，提高燃料的燃烧率，增强火箭的**性具有重要意义。重型燃气轮机是发电机组、大型船舰的动力
来源，其结构复杂、参数多，工况多变。随着G、H级燃气轮机的普及，对燃气轮机的稳定性要求也越来越高。对涡轮、压气机、燃烧室、轴承的温度、压力、振动等参量的监控，可降低燃气轮机的故障率，减少15%~20%的维护成本。另外，监测初气温度及燃烧室的压力，对提高煤气转化效率，减少CO2、CO、SO2、NO、等气体的排放具有重要意义-习。高温压力传感器在航天、航空、国防建设、能源开发等领域有着广阔的应用需求。常温MEMS压力传感器主要以硅（Si）基压力传感器为主，在100℃工作温度范围内，商业化的Si压力传感器工艺成熟、体积小、性能好，但是当其在超过120℃环境使用时，内部PN结会出现漏电，传感器性能下降甚至失效。另外，Si材料在大于500℃时还会发生塑性变形，不能满足高温环境下压力测量的需求。为此，国内外学者将目光投向其他材料，研究耐高温材料制备高温传感器的可行性。