ATR(Attenuated Total Reflection，衰减全反射)是一种研究表面或界面光学性质的十分灵敏的方法，由于ATR(atr衰减全反射附件)可以在金属-真空界面、金属-电介质界面上均能实现，因之ATR(atr衰减全反射附件)可方法已成为研究表面物理现象的一种具有发展前途的方法。
光波入射时，入射面内偏振的单色平面光波在密-疏媒质的界上全反射时，光疏媒质中所形成的迅衰场(见衰减波)量可以被耦合到金属或半导体的表面上而使表面等离元(SP)或表面极化激元共振激发。全反射的光强因而发生剧邃衰减的现象。
由于SP的激励是沿界面传递的，入射光的波矢沿界面的分量与SP的波矢相匹配时才能满足共振激发的条件，这时候入射光的能量可以通过迅衰场而耦合到SP使之激励,而反射率应为100%的全反射光强因而受到了严重的衰减。匹配可以通过改变入射角或改变入射光的波长来实现。反射率随入射角或波长改变的曲线称为衰减全反射谱。SP的激发反映在ATR谱中为一具有洛伦兹线型的共振吸收峰(见光的吸收)，峰的位置、半宽度及峰值与承受SP激发的媒质的介电常数及膜层或空气隙的厚度有密切的关系。由于SP只局限在界面的附近，所以ATR(atr衰减全反射附件)可谱只反映出界面的特性而与媒质的体内因素无关。若是界面的状态发生了变化，例如形成了过渡层，界面增加了粗糙度以及吸附了其他分子等等都会引起ATR谱中的共振峰的位置、宽度及峰值的改变。
