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光切法显微镜的介绍

狭缝被光源发出的光线照射后，通过物镜发出一束光带以倾斜45°方向照射在被测量的表面。具有齿状的不平表面，被光亮的具有平直边缘的狭缝像的亮带照射后，表面的波峰在S点产生反射。

光切法显微镜原理

光切法显微镜是采用光切法测量被测表面的微观平面幅度，其工作原理，如下所示。

产生反射

波谷在S′点产生反射，通过观测显微镜的物镜，它们各成像在分划板的a和a′点。在目镜中观察到的即为具有与被测表面一样的齿状亮带，通过目镜的分划板与测微器测出a点至a′点之间的距离N，被测表面的微观平面度h即可得出。

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