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上海上光新光学科技有限公司
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光切法显微镜原理
光切法显微镜原理
狭缝被光源发出的光线照射后,通过物镜发出一束光带以倾斜45°方向照射在被测量的表面。具有齿状的不平表面,被光亮的具有平直边缘的狭缝像的亮带照射后,表面的波峰在S点产生反射。
光切法显微镜是采用光切法测量被测表面的微观平面幅度 ,其工作原理,如下所示。
产生反射
波谷在S′点产生反射,通过观测显微镜的物镜,它们各成像在分划板的a和a′点。在目镜中观察到的即为具有与被测表面一样的齿状亮带,通过目镜的分划板与测微器测出a点至a′点之间的距离N,被测表面的微观平面度h即可得出。
1.光切法显微镜被检工件放在工作台上时,测量表面之加工纹路应与显微镜光轴平面平行,即与狭缝像垂直。并使测量表面平行于工作台平面(准确到1°);对于圆柱形或锥形工件可放在工作台上之V型块(17)上。
2.选择适当的物镜插在滑板上,拆下物镜时应先按下手柄(12),插入所需的物镜后,放松手柄即可。
3.接通电源变压器(23)和照明灯连线(22),调整粗调手轮和(3)微调手轮(4)调焦在测量平面上,使视场中出现*清晰的狭缝像和表面轮廓像。如果狭缝边缘像(下面边)与表面轮廓像不能同时调清晰时,可稍稍转动手轮(20)。一般情况下,请不要转动它。
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