分子泵过热原因

                                                      分子泵过热原因

1、分子泵漏气（包括管路接口），其主要现象表现为电流过高，且分子泵的转速低于额定转速，真空度不稳定；

2、冷却水有问题，主要现象是温度高，电流率高，真空度无影响；

3、轴承问题，使用时间过长或内部较脏，需要进行保养，更换新的轴承；

4、动平衡跑掉，现象是运转过程噪音高，泵体发热，真空度影响不大，但要注意观察，容易发生叶片打碎现象；

5、内部较脏，特别是制成物堆积过多造成运转不畅，导致电机高负载，运转发热；

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