涡轮分子泵操作程序

                                           涡轮分子泵操作程序

由于涡轮分子泵的种类和型号是多种多样的，每种泵的操作方式由制造厂家提供，涡轮分子泵的操作*简单、*便宜的方法是同时启动涡轮分子泵和前级泵，当涡轮分子泵加速到正常转速时，同时也预抽完了该系统，在此初始高压强预抽阶段，油蒸汽的返流是不可能的。因为这时系统内气体处于粘滞流或层流状态，排出气体的密度大，可阻挡任何碳氢化合物的分子向涡轮分子泵方向返流。当达到分子流态时，涡轮分子泵已进入正常速度运转，在泵高压缩比的情况下运转时，就可防止了油蒸汽的返流。

涡轮分子泵的前级泵由一个电纽开关控制，两泵可同时启动和停车。

在某些快速循环的系统中，也没有足够的时间，使涡轮分子泵在每一个循环周期内，由于时间短来不及达到正常的运转速度。在这种情况下，就不能随工作循环去周期性地开启涡轮分子泵。此时涡轮分子泵就不得不连续的运转，前级泵粗抽真空室，很快就能达到涡轮分子泵的启动压力，就可以很快打开主阀，涡轮分子泵可以在相对高的压力下工作（节约了时间）也可使粗抽管道返流降到*低程度。

如果系统需要有粗抽管道，操作不当也有可能出现返流问题，若是将系统粗抽到太低的压力，粗抽管道内就会出现分子流态。则粗抽泵的油蒸汽就有可能返流到真空室。当压力低于100～200 μmHg（13.33～26.66Pa）时，就会出现这种返流。

当真空室粗抽适度后就关闭粗抽阀门，而粗抽泵还在继续运转时，粗抽管道内的压力降低了会出现分子流状态。碳氢化合物会出现返流，并凝结在粗抽阀盖上或阀的密封处。当粗抽阀再打开时，这些凝结物就有可能离开阀盖或密封处而返流向真空室一侧。在下一个高真空循环周期中这些油蒸汽就会迁移到真空室内而遭到污染。

为了解决粗抽造成的返流问题，主要是在前级管道中避免分子流态的发生，以防油蒸汽返流。当前级管道中达到前级压力时，关闭粗抽阀对粗抽管道内充气（用一个充气阀和一个可控漏孔），然后关闭粗抽泵。因而粗抽管道内就不可能出现分子流态，防止了返流。

使用涡轮分子泵时，通常可不用粗抽管道。如在快速循环的系统中，不设粗抽管道，可以选用那些耐大气冲击的涡轮分子泵。能直接从大气压力下对真空室进行抽真空。

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