真空玻璃真空度检测(真空系统）

                                   真空玻璃真空度检测(真空系统）

 (1)在外界环境腐蚀及外力冲击下，真空玻璃真空度极易衰变或损失，真空玻璃的真空度要达到一定的标准才能保证其功效及性能的完好发挥。

(2) 真空玻璃由于玻璃内外存在大气压差,会导致玻璃与支撑结构支撑点处产生应力集中,当玻璃真空度衰变或损失时，将改变真空玻璃内部支撑物与玻璃的相互作用力的大小。

(3)真空玻璃支撑物与玻璃相互作用产生的应力集中现象能够通过光弹仪检测到，试验结果观测到真空玻璃的真空度与光弹应力斑的大小成正比例关系，当真空玻璃真空度完全消失时，应力光斑也完全消失，用该方法可以定性或半定量地在线检测到真空玻璃真空度的保有量或损失情况。

(4)真空玻璃的固有频率能够反应真空玻璃的实际工作状态，且是一个较容易在现场获得的参数。试验表明，当真空玻璃真空度衰变时，真空玻璃的固有频率也会降低。因此只要通过试验，建立起真空玻璃真空度与其固有频率变化之间的关系，就能够达到在线测量真空玻璃的固有频率来检测真空玻璃真空度。

任何高真空泵在运转期间都会碰到这种事故。如规管破裂，入口处管道、阀门、密封出现问题，都可能突然使真空泵入口暴露在大气压之下。不同型号的涡轮分子泵，耐大气压冲击的能力是不同的。有些泵会因叶片共振弯曲相碰而损坏，但也有些泵受大气冲击而不损坏。*好的办法是厂家通过试验得出结果。扩散泵和低温泵在工作中遇到这种突然事故也比较麻烦，比涡轮分子泵的抵抗能力差，如扩散泵油被氧化会迅速污染真空室，低温泵要求再生等。

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