一、linetech气体质量流量控制器产品特点 测量质量流量 无需温度和压力补偿 结构紧凑 精度高 工作压力高 响应时间快 重复性高 二、linetech气体质量流量控制器技术参数 型号 质量流量计 质量流量控制器 流量范围(N2) 10SCCM~1000SLPM 10SCCM ~ 300slpm 响应时间 <2 sec <2 sec 精准度 ≤±1% FS ≤±1% FS 重复精度 ±0.25% FS ±0.25% FS 输入/输出信号 0~5 Vdc OR 4~20 mA 0~5 Vdc OR 4~20 mA 供电电源 ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA 耐压 <90bar 0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar, 100-300SLPM,<15bar 工作环境温度 0~50 °C 0~50 °C 漏率 1*10E-9 atm cc/sec 1*10E-9 atm cc/sec 使用范围 2 ~ 100% 2~ 100% 三、linetech气体质量流量控制器接口尺寸
一、linetech气体质量流量控制器产品特点
二、linetech气体质量流量控制器技术参数
型号
质量流量计
质量流量控制器
流量范围(N2)
10SCCM~1000SLPM
10SCCM ~ 300slpm
响应时间
<2 sec
精准度
≤±1% FS
重复精度
±0.25% FS
输入/输出信号
0~5 Vdc OR 4~20 mA
供电电源
±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA
耐压
<90bar
0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar,
100-300SLPM,<15bar
工作环境温度
0~50 °C
漏率
1*10E-9 atm cc/sec
使用范围
2 ~ 100%
2~ 100%
三、linetech气体质量流量控制器接口尺寸
linetech气体质量流量控制器 linetech气体质量流量控制器