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产品资料

等离子清洗机

等离子清洗机
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：等离子清洗机
  • 产品型号：PDC200/210/510
  • 产品展商：日本雅马拓
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
日本雅马拓等离子清洗机YAMATO雅马拓、等离子清洗机PDC510
产品描述

日本雅马拓等离子清洗机，山东总负责，肖先生

YAMATO雅马拓、等离子清洗机PDC510
仪器简介：

研究开发用*适合等离子清洗机
等离子清洗机、用途：
CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理

 等离子清洗机、技术参数：

型号
PDC200
PDC210
PDC510
模式
RIE模式（DP选配）
DP模式
DP/RIE切换方式
电极构造
平行平板电极（固定）
高频输出功率
MAX300W
Max 500W
频率
13.56MHz
控制方式
自动联动，液晶触摸屏控制
反应室尺寸
400×250×150mm
500×300×200
电极尺寸
250×170mm
400×200mm
反应室材质
一次性一体成型铝腔（防腐蚀，可对应CF4）
反应气体
2系统（Ar/O2）
填充气体
N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制
流量计
聚合控制器
真空泵
另行选配
油回旋真空泵（排气量345L/min）
油回旋真空泵（排气量500L/min）
气体导入口
反应气体2套，填充气体1套
外型尺寸
540×600×600mm
540×600×600mm
700×700×700mm
电源
单相AC100V 15A 50/60Hz
三相AC100V 15A 50/60Hz

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