等离子灰化机、低温等离子·经典桶型。
PR500：手动控制
PR510：自动触摸屏控制 低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及**性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
等离子灰化机、用途
●去除光刻胶 ● 部品清洗 ● 界面活性处理 ● 微研磨 ● 硅晶圆，玻璃基板对应
等离子灰化机、特征
● 大口径（Φ215mm）石英反应腔 ● 小型一体化设计 ● 操作简单的触摸屏方式（PR510型）
等离子灰化机、内槽
硅晶圆灰化状态
等离子灰化机、规格