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纺织品含水率介绍

纺织品含水率，成立于1988年4月。 STI隶属于日本富士重工责任有限公司（Fuji Heavy Industries Ltd，简称FHI），其作用是负责支援斯巴鲁（Subaru）参与的全球汽车赛事。其中“**汽车拉力赛（World Rally Championship，WRC）”更加是STI的主要舞台。斯巴鲁WRX的比赛专用发动机，全部由STI组装及调校，然后再运送到其英的赛车总部SWRT。

纺织品含水率

浅沟道隔离

特点：

能实现高密度的隔离，适合于深亚微米器件和DRAM等高密度存储电路。

般在器件制作之前进行，热预算小。

STI技术工艺步骤：先，类似LOCOS，依次生长SiO2淀积Si3N4涂敷光刻胶，光刻去掉场区的SiO2和Si3N4。其次，利用离子刻蚀在场区形成浅的沟槽。然后，进行场区注入，再用CVD淀积SiO2填充沟槽。后，用化学机械抛光技术去掉表面的氧化层，使硅片表面平整化。

工艺复杂，需要回刻或者CMP

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