附:ISO规定的洁净度等级以及传统分级
ISO14644
分级
*高浓度极限(颗粒数/m3)
近似对应
传统规格
0.1mm
0.2mm
0.3mm
0.5mm
1.0mm
5.0mm
ISO 1级
10
2
ISO 2级
100
24
4
ISO 3级
1,000
237
102
35
8
1级
ISO 4级
10,000
2,370
1,020
352
83
10级
ISO 5级
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
100级
ISO 6级
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
1,000级
ISO 7级
352,000
83,200
2,930
10,000级
ISO 8级
3,520,000
832,000
29,300
100,000级
ISO 9级
35,200,000
8,320,000
293,000
新版GMP空气悬浮粒子的标准规定如下表:
洁净度级别
悬浮粒子*大允许数/立方米
静态
动态(3)
≥0.5μm
≥5.0μm(2)
≥5.0μm
A级(1)
3520
20
B级
352000
2900
C级
3520000
29000
D级
不作规定
注:
(1)为确认A级洁净区的级别,每个采样点的采样量不得少于1立方米。A级洁净区空气悬浮粒子的级别为ISO 4.8,以≥5.0μm的悬浮粒子为限度标准。B级洁净区(静态)的空气悬浮粒子的级别为ISO 5,同时包括表中两种粒径的悬浮粒子。对于C级洁净区(静态和动态)而言,空气悬浮粒子的级别分别为ISO 7和ISO 8。对于D级洁净区(静态)空气悬浮粒子的级别为ISO 8。测试方法可参照ISO14644-1。
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