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MICHELL针对半导体和高纯气领域湿度异动的解决方案
MICHELL针对半导体和高纯气领域湿度异动的解决方案
密析尔仪表公司很高兴宣布推出自己的微量水分异动传感器-Pura Plus。 Pura Plus是一款在线的微量水分异动传感器,专为半导体晶圆厂的高纯惰性气体而设计; 适合多点安装在气路进入制程工具前的*末端。 Pura Plus安装的管网上,可以快速的(小于一分钟)侦测出在1 ppb 基准上低至20ppb 的湿度异动。
为了同时保证达到高灵敏度和快速反应的要求,密析尔创造了一种独特的侦测算法,并辅以全新的适合高纯气的陶瓷传感器设计。除此以外,PuraPlus 还可以满足半导体行业的特殊的包装要求,Pura Plus达到了材质和表面处理的*高标准, 整个装配和包装都是在100级的洁净室完成。在包装前,密析尔还要在10-9 bar / 秒的条件下对PuraPlus进行密封性测试,以达到在两年内免维护和正常工作的设计要求。信号通过MODBUS输出,以LED交通灯的形式显示警告和报警状态。将来还将具有4-20mA输出。
这款新的传感器是密析尔仪表针对晶圆工业在尺寸和规格方面*新需求的相应。晶圆厂不断地在推动技术以达到在元件尺寸和封装上的要求。新的更大尺寸的晶圆具有更昂贵的单位价值,使得晶圆厂不断提高产出,减少由于污染而导致的残品率。当前规定大宗散装惰性气(N2,Ar)的潮气污染水平要小于10ppb, 而趋势是要降低至1ppb以下。
通常,在大宗散装气体进入FAB前的*末端,通过安装大型而复杂的仪器来监测湿度污染,存在着价格昂贵而且反应速度慢的问题,而大宗气体的湿度污染是不常发生的;与此相反,在FAB的内部,由许多的分管,节点,和使用点而构成的管网,即传统的湿度监测点的下游,潮气进入却是经常发生的,造成的原因可能是微小的泄漏,系统设计缺陷,元件损坏,或者流程上的失败。PuraPlus 的小巧尺寸和**概念使得在多个使用点的安装成为可行,成为保护晶圆制造流程的一个投入少,见效快的手段。
英国MICHELL拥有冷镜式、陶瓷氧化铝等湿度传感器。英国密析尔(MICHELL)仪表为全球*大的湿度露点仪表生产厂家,在欧洲湿度检测领域有过半的市场份额,拥有超过35年的专业技术,开发一整套变送器、露点仪、校验系统等产品,欧盟/美国国家标准实验室全都是使用MICHELL产品作为标准仪器。珠海恒智电子科技有限公司是英国密析尔(MICHELL)仪表在中国地区全程销售技术提供商,欢迎来电咨询产品。电话:、6102315
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