MICHELL针对半导体和高纯气领域湿度异动的解决方案

MICHELL针对半导体和高纯气领域湿度异动的解决方案

密析尔仪表公司很高兴宣布推出自己的微量水分异动传感器-Pura Plus。 Pura Plus是一款在线的微量水分异动传感器，专为半导体晶圆厂的高纯惰性气体而设计； 适合多点安装在气路进入制程工具前的*末端。 Pura Plus安装的管网上，可以快速的（小于一分钟）侦测出在1 ppb 基准上低至20ppb 的湿度异动。

为了同时保证达到高灵敏度和快速反应的要求，密析尔创造了一种独特的侦测算法，并辅以全新的适合高纯气的陶瓷传感器设计。除此以外，PuraPlus 还可以满足半导体行业的特殊的包装要求，Pura Plus达到了材质和表面处理的*高标准， 整个装配和包装都是在100级的洁净室完成。在包装前，密析尔还要在10-9 bar / 秒的条件下对PuraPlus进行密封性测试，以达到在两年内免维护和正常工作的设计要求。信号通过MODBUS输出，以LED交通灯的形式显示警告和报警状态。将来还将具有4-20mA输出。

这款新的传感器是密析尔仪表针对晶圆工业在尺寸和规格方面*新需求的相应。晶圆厂不断地在推动技术以达到在元件尺寸和封装上的要求。新的更大尺寸的晶圆具有更昂贵的单位价值，使得晶圆厂不断提高产出，减少由于污染而导致的残品率。当前规定大宗散装惰性气（N2，Ar）的潮气污染水平要小于10ppb， 而趋势是要降低至1ppb以下。

通常，在大宗散装气体进入FAB前的*末端，通过安装大型而复杂的仪器来监测湿度污染，存在着价格昂贵而且反应速度慢的问题，而大宗气体的湿度污染是不常发生的；与此相反，在FAB的内部，由许多的分管，节点，和使用点而构成的管网，即传统的湿度监测点的下游，潮气进入却是经常发生的，造成的原因可能是微小的泄漏，系统设计缺陷，元件损坏，或者流程上的失败。PuraPlus 的小巧尺寸和**概念使得在多个使用点的安装成为可行，成为保护晶圆制造流程的一个投入少，见效快的手段。

英国MICHELL拥有冷镜式、陶瓷氧化铝等湿度传感器。英国密析尔(MICHELL)仪表为全球*大的湿度露点仪表生产厂家，在欧洲湿度检测领域有过半的市场份额，拥有超过35年的专业技术，开发一整套变送器、露点仪、校验系统等产品，欧盟/美国国家标准实验室全都是使用MICHELL产品作为标准仪器。珠海恒智电子科技有限公司是英国密析尔(MICHELL)仪表在中国地区全程销售技术提供商，欢迎来电咨询产品。电话：、6102315    传真：