日本ORC 紫外线照度计 UV-M03A 能量计UV-M03A UV-M03A

◆ 特征
? 是简便可以曝光装置的发光强度和光量的管理的小型、轻量的不利条件类型。
? 能简便测量紫外线照度和光量。
? 受光的机调节适合被使用的(使用计划)光源和抗蚀剂的灵敏度，请选择UV-25,35,42事情。 在但是在电子电路(印刷)基板的制造工程用的时候，为了在在半导体，液晶用基板的制造工程用的时候被选择UV-SD25,UV-SD35,UV-SD42推荐UV-SN25,UV-SN35,UV-SN42
? 测量数据通过RS-232C通信输出，能转送。
? 模拟输出也具有。
◆ 关于SD型和SN型
SN型是从以前开始一直被请雇用的顾客广泛地采用本公司制造的曝光装置或者照射装置的东西，并且正确保过程管理的连续性。
SD型已经在半导体以及液晶用基板的制造过程的现场用其他公司制造的发光强度计的顾客在被重视与那些计测器械的数据的互换性确保(SD型也被对投射型曝光装置以及供液晶基板使用的周围曝光装置用本公司制造的曝光装置采用)的时候，对用的顾客全然新推荐发光强度计。
◆ 关于SD型和SN型的指示值
为了39%高，并且为了确保沿传至今的过程数据的互换性针对SD型的指示值(在是一样的测定条件，并且测量了正作为供校对使用的辐射源在本公司计测小组使用的高压UV电灯的365nm的线光谱的时候被显示的发光强度的价值，:，mW/cm2表示)表示SN型被调整。
◆ 关于与其他公司制造发光强度计的数据互换性
和供可见光使用的发光强度计(用LUX学分测量家庭、办事处、店铺、美术馆等的明亮的发光强度计)不同，并且被使供紫外线使用的发光强度计的全部可以应用的规格依然没被整理(JIS化的工作好像被用一部分的被限定的用途非常进行)。
即使出于各家公司的相对分光灵敏度测量出自使365nm的线光谱当做主体的光源的发光强度的目的被做也测量的峰值波长(相对光谱灵敏度特性被对用1显示的波长)作为开始短波长侧(300nm～310nm左右)和长波长一侧(380nm～400nm左右)的升起来，站着，降低的波长和在此之前之后的曲线一点一点地不一样。
另外，也想要使有的受光的被称呼为COSθ特殊性的受光的工具角特殊性靠近理想曲线，是设计面，并且被努力，但是没被很实现的是现实。
◆ 式样
受光的器(交换式)UV-SD35(UV-SN35)
测定波长领域310-385nm
测量发光强度范围0.001～50mW/cm2
测量光量范围0.001～19999mJ/cm2
合拢，针对包含精度本公司UV标准是±1.5%以内
重复性±1.5%以内。

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