1700℃三温区三通道混气CVD系统

壳体结构

双层壳体结构并带有风冷，使得壳体的表面温度小于55度

保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，可以减少热量的损失

三个温区分别被三个独立的温控系统控制

功率

9KW

电压

AC 208-240V单相, 50/60 Hz

加热区

·  总加热区长度: 25" (630 mm) 

·  加热温区1长度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热，*高温度可达1400℃

·  升温速率: 10°C/min

·  加热温区2长度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅钼棒加热，*高温度可达1700℃

·  *快升温速率: 5°C/min

·  加热温区3长度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通过4根硅碳棒加热，*高温度可达1400℃

·  *大升温速率:  10°C/min

炉管和法兰尺寸

·  99.8%高纯刚玉管 purity Alumina Tube

·  （标配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm)L

·  （选配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1200mm L

·  一对60mm的不锈钢密封法兰，法兰上已安装阀门和仪表

·   仪器中包括4个氧化铝管堵

低真空系统

·  采用双旋机械泵，其针对于本公司的管式炉，真空度可达到 10-2 Torr.

·  一个KF25的不锈钢波纹管已安装在真空系统上，其尺寸为 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式炉上的法兰相连接

三路浮子混气系统

·  3个浮子流量计安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体。

·  **路气体流量范围为10-100 cc/min. 

·  **路气体流量范围为16-160 cc/min.

·  第三路气体流量范围为25-250 cc/min.

·  一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接

·  移动架上安装有4个不锈钢针阀 

保修期

一年保修，终身技术支持

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