Felles 多功能翘曲度测量仪

Felles 多功能翘曲度测量仪是孚光精仪公司进口的全球**的翘曲度检测仪器，一套翘曲度测试仪器可以测量：热沉,晶圆(wafer),太阳能电池和硅片翘曲度,应力以及表面形貌。Felles 多功能翘曲度测量仪适合光伏电池翘曲度测量,太阳能电池翘曲度测量,晶圆翘曲度测量,硅片翘曲度测量,晶片翘曲度测量。

Felles 多功能翘曲度测量仪功能

特别为半导体晶圆（wafer)和太阳能电池（solar cell)的翘曲度（warp) 和弯曲度(bow)以及表面形貌(topography)的测量而设计，

可以测量晶圆翘曲度（wafer warpage) 和晶圆表面形貌, 晶圆应力,硅片张力,太阳能电池量子效率.
既适合科研单位使用，也适合工业客户大产品、高效率的晶圆翘曲度和表面形貌的检测的需要。
我们还根据不同晶圆类型提供如下两种硅片翘曲度测量仪：
1. 非反射型：适合晶圆表面覆盖晶圆保护膜/胶带（wafer tape)，图案化晶圆 /图样化晶圆（patterned wafer)，粗糙的晶圆的应用；
2. 高反射型： 适合晶圆表面光滑 / 镜反射的应用。

Web: www.felles.cn                    （激光光学精密仪器官网）
         www.felles.cc                     （综合性**测试仪器官网）
         www.f-lab.cn                       （综合性实验室仪器官网）

Felles 多功能翘曲度测量仪主要参数：
× 翘曲度测量范围：1-20微米；
* 重复精度： 百分之0.5 （1 sigma);
* 给出结果：曲率半径,晶圆弯曲高度，翘曲度，测量日期和时间；
* RMS粗糙度mapping: 0.5-20A （可选项）；
* 光源：根据用户的应用而配备不同光源；
* 探测器：高分辨率探测器阵列并配备亚像素软件；