xyzθ定位平台 xyzθ positioner
产品简介
xyzθ定位平台采用美国Aerotech公司高精度定位台构造,实现在XYZ-Theta四维**定位,也是全球**的xyzθ定位台和xyzθ位移台。
产品详细信息
xyzθ定位平台采用美国Aerotech公司高精度定位台构造,实现在XYZ-Theta四维**定位,也是全球**的xyzθ定位台和xyzθ位移台。
xyzθ定位平台采用XY位移台实现XY定位,采用升降台实现Z轴定位,采用旋转定位台进行Theta定位,采用全数字伺服控制器,从而实现100mm x 100mm x 16mm x 360degree 的xyzθ定位,分辨率高达1nm 和0.36arcsec。
Tel: ;Email:info@felles.cn
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