复合型XY定位平台 Metrostagev

点击查看大图

产品价格： < 面议

产品型号：Metrostagev

品牌：Felles

公司名称：孚光精仪(中国)有限公司

所在地：天津南开区

浏览次数：61 次

立即询价在线咨询

腾讯QQ
MSN

产品简介

这款复合型XY定位平台METROSTAGE是美国Nutec公司制造的高精度电动XY定位台，采用了XY双轴组合型设计，可以设计成实心顶部，也可设计成开放的框架结构，同时满足超净工作间和真空环境的使用要求。

产品详细信息

这款复合型XY定位平台METROSTAGE是美国Nutec公司制造的高精度电动XY定位台，采用了XY双轴组合型设计，可以设计成实心顶部，也可设计成开放的框架结构，同时满足超净工作间和真空环境的使用要求。
XY定位平台METROSTAGE主要特色
超薄设计,3层结构；
直线伺服或滚轴丝杆驱动系统
集成的非接触式位置编码器
分辨率高达1纳米
内部预加载的辊导向系统
可集成伺服控制功能

这款XY定位平台METROSTAGE采用特殊的3层结构设计，保证了*小的形变和*高的精度，刚度和稳定性也得到了*大化，从而保证了XY定位平台的*佳支撑和完整性. 无空回（backlash-free)的预装引导系统保证了电动XY定位台实现平稳,低摩擦,高精度地定位,无故障长期使用。

XY定位平台应用
这款电动XY定位平台具有广泛的应用，比如，可用于计量和制造领域，半导体封装,测试和制造领域，视频检测，微细加工，激光加工，高速加工，激光和检测等领域。也有许多用户把这套XY定位平台用于显微镜上，替代精度不足的传统显微镜载物台。

XY定位平台配置
行程范围100x100mm到300x300mm
位移台高度*低可达60mm
开放框架或固体顶部
适合超净间使用
真空兼容，适合真空环境使用
非磁性

XY定位平台主要参数：
行程范围：100x100mm, 150x150mm, 200x200mm, 300x300mm
驱动系统；步进电机,伺服电机，直线伺服电机，陶瓷伺服电机
*大加速度：由负载决定
*大速度：直线电机驱动：500mm/s,滚珠螺杆：250mm/s，滚柱丝杠驱动:40mm/s
*大负载：15kg
TTL分辨率：50nm
重复精度：≤1µm
构造：铝合金主体，灰色硬质涂层

	MS-100 ST	MS150-ST	MS200-ST	MS300-ST	MS-OFT
Travel Length (mm)	100x 100	150x 150	200x200	300x300	100x150
Trajectory Control
Accuracy
Standard Precision SP	± 7.5µm	± 10µm	± 15µm	± 20µm	± 15µ/m
High Precision HP	± 5µm	± 7.5µm	± 10µm	± 10µm	n/a
Extra High Precision XHP	± 3µm	± 4µm	± 6µm	± 6µm	n/a
Straightness/Flatness
Standard SP	± 8 µm	± 10 µm	± 12 µm	± 20 µm	± 20 µm
High Precision HP	± 3µm	± 4 µm	± 6 µm	± 10 µm	n/a
Extra High Precision XHP	± 3µm	± 4 µm	± 5 µm	± 7 µm	n/a
Yaw/Pitch/Roll
Standard SP	20 arc-sec	20 arc-sec	20 arc-sec	20 arc-sec	30 arc-sec
High Precision HP	10 arc-sec	10 arc-sec	10 arc-sec	10u arc-sec	n/a
2 axis system all
Orthogonality

XY定位平台台由中国**的进口光学精密仪器旗舰型服务商-孚光精仪进口销售,精通光学,服务科学,先后为北京大学,中科院上海光机所,中国工程物理研究院,航天3院,哈工大,南开,山东大学等单位提供**进口电动XY位移台,电动二维位移台,XY二维位移台。

Tel: ；Email:info@felles.cn
产品官方网址：

http://www.felles.cn/dingweitai/xydingweitai.html