P56D12A976000F 微波等离子体清洗器 P56D12A976000F
产品简介
P56D12A976000F 微波等离子体清洗器是目前*为先进的等离子体清洗机,P56D12A976000F 微波等离子体清洗器采用微波能量生产等离子体,在氧气或氩气以1-5torr的压力流经样品室时,微波能会有效地激发等离子体。
产品详细信息
P56D12A976000F 微波等离子体清洗器是目前*为先进的等离子体清洗机,P56D12A976000F 微波等离子体清洗器采用微波能量生产等离子体,在氧气或氩气以1-5torr的压力流经样品室时,微波能会有效地激发等离子体。
P56D12A976000F 微波等离子体清洗器产生的等离子体是电中性的高度电离的气体,这种等离子流经污染表面与之发生反应,污染表面自好清洗而不影响材料的大部分特性。与其他等离子产生方法不同,这款微波等离子清洗器使用2.45GHz的微波能,具有可调的的功率占空比和模拟功率调节功能。功率可调范围高达10-550瓦。
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使用这款P56D12A976000F 微波等离子体清洗器,您可以获得更高的气压,更高的功率和更高的温度,当然,您将获得以前从未实现的更高的反应速度。
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孚光精仪提供三种规格的微波等离子体清洗器,这三款等离子体清洗机,微波清洗器的区别主要在于耐温玻璃样品室的容积大小。**种等离子体清洗机,微波清洗器的样品室是直径4.1’’x6’’长,**种等离子体清洗器是8’’x6’’x2’’,第三种是9’’x7’’x3’’。具有长方形样品室的清洗器都配有水冷系统可以控制温度,这样就可以清洗更多种类的器具而不必单位热损伤。
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1.水循环浴;
2.双气真空流动控制器:可与微波等离子清洗器联合使用的独立的器件,它的作用是按不同比例混合两种气体。该控制器包括为真空泵和水循环浴提供的功率输出,两个流量(0-5SCFM)计,两个压力计(0-60帕),一个真空压力计(0-30’’Hg)和一个开关;
3.离子阱:该离子阱用于保护易损伤材料,如:激光二极管发光面,光刻胶等。该离子阱可以中和带电离子,从而只允许中性辐射物参与清洗使得易伤材料免于清洗伤害。
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