Felles 薄膜溶解测量仪 fr-liquid

Felles 薄膜溶解测量仪用于实时监测薄膜在液体过程中的薄膜厚度和光学常量（n, k)的变化，Felles 薄膜溶解测量仪是全球**的薄膜溶解测量仪和薄膜溶解测试仪。

Felles 薄膜溶解测量仪特点

为了这种特色的测量，我们特意研发了Teflon样品池用于测量薄膜样品，

使用一种岔头探针水平安装在Teflon 样品池的外部，距离玻璃窗口非常接近，使用白光反射光谱技术（WLRS)，

实时测量薄膜厚度和折射率，并通过专业软件记录下这些数据。

提供垂直的样品夹具，以固定小尺寸的硅样品或3''，4''直径的Si 晶圆。

能够以实时或离线的方式测量，反射率数据都能够存储下来以便后续处理使用。

是测量薄膜溶解速度的薄膜溶解分析仪。

Web: www.felles.cn                    （激光光学精密仪器官网）
         www.felles.cc                     （综合性**测试仪器官网）
         www.f-lab.cn                       （综合性实验室仪器官网）

Felles 薄膜溶解测量仪特色

根据溶解过程的不同，如溶解速度的不同，

能够以实时或离线的方式测量，反射率数据都能够存储下来以便后续处理使用。

能够测量几十个纳米厚度的光致抗蚀剂和聚合物薄膜堆的溶解过程。

可以测量薄膜的膨胀等特殊现象。

对于薄膜厚度的测量，需要光滑，具有反射性的衬底，对于光学常数测量，平整的反射衬底即可满足测量需要。

如果衬底是透明的，衬底的背面不能具有反射性。

能够给出两个参数：例如两个薄膜的厚度或一个薄膜的厚度和光学常量。

光学镀膜测量 

用于实时监测薄膜在液体中的薄膜厚度和光学常量（n, k)的变化,