OLYMPUS MX61L 16寸半导体检测显微镜 OLYMPUS MX61L,奥林巴斯MX61L
产品简介
OLYMPUS MX61L 16寸半导体检测显微镜 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法(DIC)、荧光法、红外线法和深紫外线法,**的光学系统保证了**的图像分辨率和鲜明度。 OLYMPUS MX61L 16寸半导体检测显微镜
产品详细信息
OLYMPUS MX61L 16寸半导体检测显微镜
在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑(AS)的开闭调节,与物镜的切换和观察模式连动,用一个按钮就可以操作。此外,用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上,从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑(AS)的按钮分别斜向配置,手不离开对焦手柄,只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度,能够防止错误操作。
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OLYMPUS MX61L 16寸半导体检测显微镜观察姿势迅速到位的倾斜镜筒
![]() 倾斜镜筒示意图 |
为了适应视点而调整座椅的高度,或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间,降低工作速度。但是,配备倾斜角度为0°~42°(可变高度为150 mm,SEMI S8对应)的倾斜镜筒,可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势,甚至可以站立检查。此外,这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离,可以在较大的平台上轻松操作。
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高灵敏度载物台可以迅速决定位置
![]() 内置离合器的载物台手柄 |
对应300 mm晶圆/17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围(Y方向284 mm)。另外,内置离合器的载物台手柄,可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台,快速完成检查。
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瑞科中仪向您推荐的奥林巴斯显微镜具有鲜明图像和**的分辨率为特点的光学系统多种选择,可实现**的成像性能 。
物镜是观察样品的照明和观察的重要部件,奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。
OLYMPUS MX61L 16寸半导体检测显微镜
丰富的产品阵容,可按需选择
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MPLAPON
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平场复消色差透镜
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MPLFLN
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平场半复消色差透镜
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MPLFLN-BD
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明暗视场用平场半复消色差透镜
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MPLFLN-BDP
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反射偏振光用平场半复消色差透镜
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LMPLFLN
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长工作距离平场半复消色差透镜
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LMPLFLN-BD
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明暗视场用长工作距离平场半复消色差透镜
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MPLN
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平场消色差透镜
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MPLN-BD
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明暗视场用平场消色差透镜
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SLMPLN
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超长工作距离平场消色差透镜
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LCPLFLN-LCD
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液晶长工作距离平场半复消色差透镜
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半导体/FPD检查显微镜 规格
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MX61L
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MX61
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光学系统
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UIS2光学系统(无限远校正)
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机身
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观察方法
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明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
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反射/透射
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反射/透射
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照明装置
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机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
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照明系统
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反射照明
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100 W卤素/100 W水银/75 W氙
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透射照明
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纤维光导
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对焦单元
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电动/手动
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手动
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行程
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32 mm
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分辨率/微调灵敏度
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微调旋钮转动1周移动0.1 mm
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*大样本高度
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30 mm
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物镜转换器
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电动型
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明视场微分干涉6孔
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明暗视场微分干涉5孔
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明暗视场微分干涉6孔
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明暗视场微分干涉中心输出5孔
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手动式
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-
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载物台
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行程
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14×12英寸右下手柄:
356(X)×305(Y)mm (透射照明范围356×284 mm) |
8×8 英寸右下手柄:
210(X)×210(Y)mm (透射照明范围189×189 mm) 6×6 英寸右下手柄: 158(X)×158(Y)mm |
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观察筒
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广角视场
(视场数22) |
倒置
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双目/三目观察筒
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正像
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三目观察筒
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超宽视场
(视场数26.5) |
倒置
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三目观察筒
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正像
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倾斜三目观察筒
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附件单元
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DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
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外形尺寸
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710(W)×843(D)×507(H)mm
(标准组合) |
509(W)×843(D)×507(H)mm
(标准组合) |
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重量
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51 kg(标准组合)
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40 kg(标准组合)
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