等离子清洗机 PDC200/210/510

产品价格: < 面议
产品型号:PDC200/210/510
 牌:日本雅马拓
公司名称:潍坊普分仪器有限公司
  地:山东潍坊
浏览次数:
更多
立即询价 在线咨询

产品简介

日本雅马拓等离子清洗机YAMATO雅马拓、等离子清洗机PDC510 

产品详细信息

日本雅马拓等离子清洗机,山东总负责,肖先生

YAMATO雅马拓、等离子清洗机PDC510
仪器简介:

研究开发用*适合等离子清洗机
等离子清洗机、用途:
CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理

 等离子清洗机、技术参数:

型号
PDC200
PDC210
PDC510
模式
RIE模式(DP选配)
DP模式
DP/RIE切换方式
电极构造
平行平板电极(固定)
高频输出功率
MAX300W
Max 500W
频率
13.56MHz
控制方式
自动联动,液晶触摸屏控制
反应室尺寸
400×250×150mm
500×300×200
电极尺寸
250×170mm
400×200mm
反应室材质
一次性一体成型铝腔(防腐蚀,可对应CF4)
反应气体
2系统(Ar/O2)
填充气体
N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制
流量计
聚合控制器
真空泵
另行选配
油回旋真空泵(排气量345L/min)
油回旋真空泵(排气量500L/min)
气体导入口
反应气体2套,填充气体1套
外型尺寸
540×600×600mm
540×600×600mm
700×700×700mm
电源
单相AC100V 15A 50/60Hz
三相AC100V 15A 50/60Hz

在线询价

您好,欢迎询价!我们将会尽快与您联系,谢谢!
  • *产品名称:
  • 采购数量:
  • 询价有效期:
  • *详细说明:
  •   100
  • *联系人:
  • *联系电话:
  • 附件: 附件支持RAR,JPG,PNG格式,大小在2M范围
验证码: 点击换一张
 
   温馨提示:为规避购买风险,建议您在购买前务必确认供应商资质与产品质量。

   免责申明:以上内容为注册会员自行发布,若信息的真实性、合法性存在争议,平台将会监督协助处理,欢迎举报