扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
扫描电镜的优点
扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成。其中,电子光学系统又由电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。工作时,电子枪发射出的电子束被电磁透镜汇聚成极细的电子束,在样品表面进行扫描,激发样品表面产生二次电子。二次电子由探测器收集,并被闪烁体转变成光信号。
传统扫描电镜在观察非导电样品时,样品表面必须镀导电膜层才能对其进行观察。这种情况下,导电膜会对样品表面真实形貌造成一定程度的掩盖。目前主流的扫描电镜的重要突破之一是,通过降低入射电子的加速电压,就可以不镀导电膜层直接观察非导电样品。
放大倍数
扫描电镜的放大倍数可表示为M =Ac/As式中,Ac—荧光屏上图像的边长;As—电子束在样品上的扫描振幅。一般地,Ac 是固定的(通常为100 mm),则可通过改变As 来改变放大倍数。
目前,大多数商品扫描电镜放大倍数为20~20,000倍,介于光学显微镜和透射电镜之间,即扫描电镜弥补了光学显微镜和透射电镜放大倍数的空挡。
扫描电镜的优点
- 有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调;
- 有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;
- 试样制备简单。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析。
扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成。其中,电子光学系统又由电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。工作时,电子枪发射出的电子束被电磁透镜汇聚成极细的电子束,在样品表面进行扫描,激发样品表面产生二次电子。二次电子由探测器收集,并被闪烁体转变成光信号。
传统扫描电镜在观察非导电样品时,样品表面必须镀导电膜层才能对其进行观察。这种情况下,导电膜会对样品表面真实形貌造成一定程度的掩盖。目前主流的扫描电镜的重要突破之一是,通过降低入射电子的加速电压,就可以不镀导电膜层直接观察非导电样品。
放大倍数
扫描电镜的放大倍数可表示为M =Ac/As式中,Ac—荧光屏上图像的边长;As—电子束在样品上的扫描振幅。一般地,Ac 是固定的(通常为100 mm),则可通过改变As 来改变放大倍数。
目前,大多数商品扫描电镜放大倍数为20~20,000倍,介于光学显微镜和透射电镜之间,即扫描电镜弥补了光学显微镜和透射电镜放大倍数的空挡。
![](/Content/images/news/yzcode.jpg)
![无觅相关文章插件,快速提升流量](http://static.wumii.cn/images/pixel.png)