高纯气体减压阀 E71
产品简介
E71高纯气体减压阀适用于高纯气体的减压,气体等级8.0。*大入口压力40bar,*大出口压力10bar,Cv流量系数0.7,接口为1/2"VCR公头或母头。
产品详细信息
感应形式…………膜片式
减压级数…………单级
入口压力…………max. 40bar,更高入口压力请咨询本公司
出口压力…………1.5/4/10bar
调压方式…………手柄调节
接口尺寸…………1/4"VCR公头或母头,其他接口形式请咨询本公司
表面抛光度………Ra≤0.25μm,可选Ra≤0.18μm(电子抛光)
流量系数…………Cv=0.7
重量………………1.5kg
材质
阀体………………316L不锈钢
膜片………………哈氏合金
其他过流部件……316L不锈钢
阀座………………PCTFE
E71高纯气体减压阀选型说明
E71-M:介质不接触弹簧型。*低限度地减小产生颗粒的可能性。
E71高纯气体减压阀产品特征
为小流量优化设计,内表面电子级抛光处理
*小化内部容积以缩短吹扫时间
所有过流部件都采用316L不锈钢、哈氏合金、PCTFE、PVDF材质
高精度控制
金属对金属密封
通过手柄实现出口压力限位
100%氦气检漏测试
100/10级无尘室内组装
可要求提供SEMASPEC认证文件
Spectropur产品所有过流部件都经过Spectro-clean超声波(CFC-FREE)清洗并烘干
减压级数…………单级
入口压力…………max. 40bar,更高入口压力请咨询本公司
出口压力…………1.5/4/10bar
调压方式…………手柄调节
接口尺寸…………1/4"VCR公头或母头,其他接口形式请咨询本公司
表面抛光度………Ra≤0.25μm,可选Ra≤0.18μm(电子抛光)
流量系数…………Cv=0.7
重量………………1.5kg
材质
阀体………………316L不锈钢
膜片………………哈氏合金
其他过流部件……316L不锈钢
阀座………………PCTFE
E71高纯气体减压阀选型说明
E71-M:介质不接触弹簧型。*低限度地减小产生颗粒的可能性。
E71-0
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200
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10
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P
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M
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VF
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M
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M
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型号
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进气压力P1
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出气压力P2
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表面等级
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进气接头
|
出气接头
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进气
指示 |
出气指示
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E71-0
E71-M
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40-max.40bar
更高入口压力请咨询本公司
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1.5-max.1.5 bar
4-max.4 bar
10-max.10 bar
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P-Ra≤0.25μm
HP-Ra≤0.18μm
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M-1/2” VCR公头
F-1/2”VCR母头
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B-无(堵头)
M-压力表
K-电接点压力表
D-压力传感器
0-VCR接口
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E71高纯气体减压阀产品特征
为小流量优化设计,内表面电子级抛光处理
*小化内部容积以缩短吹扫时间
所有过流部件都采用316L不锈钢、哈氏合金、PCTFE、PVDF材质
高精度控制
金属对金属密封
通过手柄实现出口压力限位
100%氦气检漏测试
100/10级无尘室内组装
可要求提供SEMASPEC认证文件
Spectropur产品所有过流部件都经过Spectro-clean超声波(CFC-FREE)清洗并烘干