硅分析系统 Nicolet

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产品型号:Nicolet
 牌:赛默飞世尔Thermo Scientific
公司名称:上海仁特检测仪器有限公司
  地:上海浦东
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产品简介

赛末飞世尔 Nicolet型硅分析系统性能**,拥有成本低,可靠性高,可以快速测量间隙碳和间隙氧以及外延薄膜厚度,适用于半导体晶片生产和太阳硅应用。 经光伏硅转换太阳能的需求持续显著增长,Nicolet 硅分析系统可提供快速、可靠的多功能分析。

产品详细信息

赛末飞世尔 Nicolet型硅分析系统性能**,拥有成本低,可靠性高,可以快速测量间隙碳和间隙氧以及外延薄膜厚度,适用于半导体晶片生产和太阳硅应用。 经光伏硅转换太阳能的需求持续显著增长,Nicolet 硅分析系统可提供快速、可靠的多功能分析。
仪器主要特点:
1、Nicolet 硅分析系统的处理选项包括:
1)自动分析 300 mm(*大)的晶片;
2)低成本手动测量单个点。 本系统可提供行业趋势变化所需的灵活性,可用于方形晶片和金属片的分析。
2、具有硅分析选项,可以满足各种预算需求。 所有解决方案均包括软件工具,其中包括:
●碳、氧和外延薄膜(300nm 至 7500nm)分析
●定量算法广泛,扩展了功能,其中包括:线性回归法、经典*小二乘法 (CLS) 和偏*小二乘法 (PLS)
●支持 ASTM 和 JEIDA 标准,可以测量替代碳和间隙氧
3、此**自动分析系统以 Nicolet x700 光谱仪为基础,可满足要求苛刻的操作环境。 此应用软件具有完全自动化的扫描成像平台,所含软件可以实现:
●灵活的测量选择:从单点绘制到整个晶片绘制
●处理 300mm (*大)的晶片
●透射与反射能力测量:可以接受的材料和薄膜非常广泛
4、简便的用户操作
此手动分析系统基于 Nicolet x700 或 Nicolet iS10 FT-IR 光谱仪,适用于要求不太苛刻的 QA/QC 应用。 此系统在样品室中使用手动旋转平台,包括:
●单点分析手动定位样品
●在样品室中处理晶片
●具有透射测量能力,可以接受众多材料和薄膜
5、Recommended for:
●测量硅中碳和氧的含量,以便对光伏器件进行过程控制
●介电薄膜中掺杂物的浓度级别(BPSG、PSG、FSG 等)
●氮化硅薄膜中的氢含量
●外延薄膜厚度
●MEMS 器件厚度
●硅片中的代位碳和间隙氧含量

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