Turbo-V 81 涡轮分子泵 Turbo-V 81-T,Turbo-V 81-M 泵
产品简介
agilent Turbo-V 81 涡轮分子泵,满足苛刻应用要求的节能无油泵,应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的专用泵。
产品详细信息
Turbo-V 81 涡轮分子泵提供从 46 至 77 升/秒(视气体而定)的抽速,并且采用 Navigator 产品线中*先进的技术。该泵经过优化设计,能以低基础压力产生高压缩比,在高通量时具有高压差,并能维持高前级压力。该泵为无油、无污染型,并且具有非常低的故障率,可以在任何位置工作而不对材料施加应力。典型的 MTTF 超过 250000 小时。
Turbo-V 81 涡轮分子泵功能特点:
Turbo-V 81 涡轮分子泵参数规格:
Turbo-V 81 涡轮分子泵功能特点:
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Turbo-V 81 涡轮分子泵参数规格:
Turbo-V 81-M
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接口
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With CF 4 1/2 or ISO 63
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With CF 2 3/4 or KF40
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抽速
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N2=77 l/s
He=65 l/s
H2=50 l/s
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N2=50 l/s
He=56 l/s
H2=46 l/s
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压缩比
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N2>5x108
He=8x104
H2=7x103
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基础压力
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5x10-10 mbar (3.8x10-10Torr)
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进口法兰
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ISO 63
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KF 40
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转速50Hz(rpm)
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1350 HZ (max)
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开机时间
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<1分钟
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重量Kg/lbs
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2(4.4)
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2.98(6.57)
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Turbo-V 81-T
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接口
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With CF 4 1/2 or ISO 63
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With CF 2 3/4 or KF40
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抽速
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N2=77 l/s
He=65 l/s
H2=50 l/s
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N2=50 l/s
He=56 l/s
H2=46 l/s
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压缩比
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N2>7x106
He=3x103
H2=3x102
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基础压力
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5x10-9 mbar (3.8x10-9 Torr)
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进口法兰
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ISO 63
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KF 40
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转速50Hz(rpm)
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1350 HZ (max)
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开机时间
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<1分钟
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重量Kg/lbs
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1.82(4)
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2.68(5.90)
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